Yüksek Çözünürlüklü Cmut Ultrason Görüntüleme Sistemi

Date

2022-10-15

Author

Bayram, Barış

Metadata

Show full item record

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.

Item Usage Stats

145
views

189
downloads

Cite This

Yumuşak dokuların güvenli ve anlık canlı görüntülenmelerini sağlamak için medikal ultrason görüntüleme, diğer medikal görüntüleme topolojilerine göre büyük avantaj sağlamaktadır. Elmas, rakipsiz sertliği ve dayanıklılığı, yüksek termal iletkenliği, paslanmaması ve uzun süre kullanımı ile mikroelektromekanik sistemler (MEMS) ve ultrasonik çevirgeçler alanında çok ilgi çeken bir materyaldir. Bu projede, elmas bazlı ultrasonik çevirgeç mikroüretimi ile mikrobaloncuk kullanımı ile yüksek çözünürlüklü görüntüleme sisteminin kurulması hedeflenmiştir. Projemizin hedefleri doğrultusunda, çok elemanlı elmas membranlı kapasitif mikroüretilmiş ultrasonik çevirgeç (CMUT) dizisinin mikroüretimi için, polisilikonun XeF2 plazması içerisinde kurbansal aşındırılmasına dayandırılan yeni bir mikroüretim süreci geliştirilmiştir. Elmas filminin yüksek boron katkılanması ile yüksek seviyede iletken elmas CMUT membranları elde edilmiştir. Geliştirilen mikroüretim sürecine göre hem tedavi hem de görüntüleme için kullanılabilecek iki adet 64 elemanlı CMUT dizisi tasarlanmış ve elektriksel analizleri sonlu eleman metodu ile bilgisayar ortamında başarıyla gerçekleştirilmiştir. Geliştirilen özgün mikroüretim süreci ve tasarım ile geniş, 64 elemanlı, elmas membranlı CMUT dizilerinin prototip üretimi başarıyla tamamlanmıştır. Üniversitemiz altyapısındaki araştırma laboratuvarımız bünyesinde, mikroüretimin ve prototip ürünün performans testleri başarıyla gerçekleştirilmiştir. Böylece, farklı frekans bantlarında çalışabilen, medikal ultrason alanında hem tedavi aynı anda hem de görüntüleme gerçekleştirebilen çok elemanlı, elmas membranlı CMUT dizilerinin prototipi, endüstriyel ürün haline getirilmek üzere başarıyla geliştirilmiştir. Projemizin bir diğer amacı doğrultusunda, teşhis ve tedavide yankı sinyallerini güçlendirerek görüntüleme performansını artıran mikrobaloncuk görüntüleme teknikleri araştırılmıştır. Mikrobaloncukların lokalize etmek ve yüksek çözünürlüklü görüntü elde etmek için literatürde bulunan farklı ön işleme ve art işleme teknikleri araştırılmıştır. Bulunan teknikler için gerekli algoritmalar Verasonics Vantage sisteminde başarıyla oluşturulmuştur. Geliştirilen teknikler, elde edilen deneysel veriler üzerinden, karşılaştırılmıştır. Elde edilen sonuçlar doğrultusunda, ultra hızlı görüntüleme ile birleştirilen, akustik radyasyon kuvveti (ARF) tekniğinin yüksek çözünürlükte mikrobaloncuk görüntülemek için çok potansiyelli olduğu sonucuna varılmıştır.

Subject Keywords

Ultrason, CMUT, Elmas, Mikroüretim, Mikrobaloncuk, Ultrason Görüntüleme, Ultrasound, Diamond, Microfabrication, Microbubble, Ultrasound Imaging

URI

https://search.trdizin.gov.tr/tr/yayin/detay/1222124/yuksek-cozunurluklu-cmut-ultrason-goruntuleme-sistemi
https://hdl.handle.net/11511/113792

Collections

Department of Electrical and Electronics Engineering, Project and Design