Mikro Gözenekli Titanyumsilikat Ve Vanadyumsilikat Ince Filmlerinden Nem Sensörü Gelistirilmesi Ve Üretimi

Date

2021-1-01

Author

Akata Kurç, Burcu
Çam, İbrahim

Metadata

Show full item record

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.

Item Usage Stats

183
views

232
downloads

Cite This

Proje kapsamında, ETS-10 titanyum silikat ve AM-6 vanadyum silikat kristallerinden ince film yapım teknikleri tüm detayıyla arastırılmıs ve elde edilen bu ince filmlerin nem sensörü olarak gelistirilip karsılastırması yapılmıstır. Proje bes ana safhada gerçeklestirilmistir. Birinci asamada, gerekli olan ETS-10 ve AM-6 kristalleri, farklı morfolojilerde ve toz formda sentezlenmistir. Projenin ikinci ve üçüncü asamalarında, döndürmeli kaplama ve ikincil büyütme yöntemleri kullanılarak farklı film yapım teknikleri arastırılmıstır. Bu filmlerin elde edilmesi, yapılarında Ti-O-Ti zincirleri yerine V-O-V zincirlerinin bulunması gibi baska hiçbir malzemede bulunmayan bir özelligin de diger sensör yapımını etkileyecek faktörlerin yanında ilk defa arastırılmasına olanak saglamıstır. Projenin dördüncü asamasında, gelistirilmis olan filmlerin nem sensörü alanında test edilmesini saglayacak yepyeni bir sistem tasarımı yapılmıstır. Projenin son asamasında ise, sabit nem dengelerine gelmis ortamlardaki nem sensörlerinin empedans analizörü aracılıgıyla bagıl neme ve frekansa dayanan ölçümleri basarı ile gerçeklestirilmistir. Ayrıca, empedans analiz yöntemleri sonucunda elde edilen bilgiler kullanılarak elde edilen esdeger devre modelleri sensörlerin iletim mekanizmalarının anlasılmasında kullanılmıstır. Bu baglamda, aralarındaki tek fark yapılarında bulunan tek boyutlu ve yarı iletken kuantum tellerin tipi olan ve diger tüm özellikleri aynı olan titanyum silikat ETS-10 ve vanadyum silikat AM-6 filmlerinin nem sensörü olarak üretimi ilk defa basarı ile gerçeklestirilmis olup, bu iki farklı yapının düsük ve yüksek bagıl nem oranlarında farklı duyarlılık gösterdikleri gözlenmistir. Temel olarak nem sensörlerini etkileyen faktörlerin, tohum kristal morfolojisi, kristal büyüme yönelimi, film kalınlıgı ve yapıdaki kuantum zincirleri gibi kristalin yapı farklılıkları ve film üretim teknikleri oldugu söylenebilir. Sonuç olarak, bu proje kapsamında yapısal özellikleri ilk defa bu kadar kontrollü olusturulan zeo-tip ince filmlerinin, empedans ölçümleri alınan ve farklı nem seviyelerindeki esdeger devrelerdeki direnç ve kapasitif bilesenleri çıkartılmıstır. Bu degerlerde meydana gelen farklılıklardan yansıyan sonuçlar nem sensörlerinin performansları açısından arastırılmıstır. Böylece malzemede yapılan kontrollü ve yapısal degisikliklerin nem sensör performansına yön veren etkileri irdelenmistir.

Subject Keywords

Gözenekli malzemeler, Nem Sensörü, İnce Film, Empedans Ölçümü, Porous materials, Humidity sensor, Thin film, Impedance analysis

URI

https://search.trdizin.gov.tr/tr/yayin/detay/1152455/mikro-gozenekli-titanyumsilikat-ve-vanadyumsilikat-ince-filmlerinden-nem-sensoru-gelistirilmesi-ve-uretimi
https://hdl.handle.net/11511/113832

Collections

Graduate School of Natural and Applied Sciences, Project and Design