Show/Hide Menu
Hide/Show Apps
anonymousUser
Logout
Türkçe
Türkçe
Search
Search
Login
Login
OpenMETU
OpenMETU
About
About
Açık Bilim Politikası
Açık Bilim Politikası
Frequently Asked Questions
Frequently Asked Questions
Browse
Browse
By Issue Date
By Issue Date
Authors
Authors
Titles
Titles
Subjects
Subjects
Communities & Collections
Communities & Collections
LORENTZ KUVVETİ TABANLI, TINLAYAN ve TİTREŞİM GENLİĞİ ÖLÇÜMÜ İLE ÇALIŞAN BİR MEMS MANYETOMETRE
Date
2017-12-01
Author
Azgın, Kıvanç
Metadata
Show full item record
This work is licensed under a
Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License
.
Item Usage Stats
6
views
0
downloads
Bu çalışmada titreşim genliği ölçümü ile çalışan Lorentz kuvveti tabanlı ve algılayıcısı tınlaşan MEMS yük hücresi olan bir manyetometre sunulmaktadır. Manyetometre, tarak elektrotlara sahip Çift Bağlı Diyapazon (ÇBD) bir tınlatıcı ile, uçlarından ve ortalarından birbirlerine bağlanmış kirişlerden oluşan bir ızgara yapısından oluşmaktadır. Izgara yapısı, üzerinden geçen akımla Lorentz kuvvetini oluştururken, elektriksel direncin ve yapının sıcaklığının yükselmesini engellemektedir. Maksimum hassasiyet için yapının genlik frekans tepkisinin eğiminin en büyük olduğu tahrik frekansı seçilmiştir. Manyetometre standart SOI (Yalıtkan-Üzeri-Silisyum) mikro-işleme teknikleri kullanılarak 35µm yapısal kalınlıkla üretilmiştir. Yapılan frekans tepkisi testinde ÇBD yapısının tınlaşım frekansının 63812,1 Hz ve 0,2 mTorr'daki kalite faktörünün de 5950 olduğu belirlenmiştir. Testler yapıya dik olarak oluşturulan 30mT manyetik alan altında, 100mA ızgara akımı ve 70mV tahrik genliği ile yapılmıştır. Manyetometrenin orantı katsayısı 113.7 mV/T ve duyarlılığı 965 µT/Hz½ olarak ölçülmüştür.
Subject Keywords
Magnetometer
,
DETF
,
MEMS
,
Lorentz Force
,
Amplitude Detection
,
Manyetometre
,
ÇBD (Çift Bağlı Diyapazon)
,
MEMS
,
Lorentz Kuvveti
,
Genlik Ölçüm
URI
https://hdl.handle.net/11511/40169
Journal
Uludağ University Journal of The Faculty of Engineering
DOI
https://doi.org/10.17482/uumfd.325923
Collections
Department of Mechanical Engineering, Article