Silisyum mikroişlenmiş jiroskop geliştirilmesi

Download
2003
Akın, Tayfun
Alper, Emre Said
Araştırma çerçevesinde iki yeni üretim süreci geliştirilerek MEMS teknolojisi ile Türkiye'de ilk defa dönüölçerler (jiroskop) üretilmiştir ve çalıştıkları gösterilmiştir. Bu üretim süreçlerinden oirisi nikel elektrokaplama, diğeri ise eritilmiş pul silisyum mikroişleme teknolojisine dayanmaktadır. Aynı zamanda dönüölçerlerin çıkış sinyallerini algılayabilmek için kapasitif arabirim okuma devreleri tasarlanmış, bir O.Sum CMOS üretim sürecinde ürettirilmiş ve testler ile bu devrelerin çalıştığı gösterilmiştir. Dönüölçerlere hibrit olarak bağlanan bu devreler yardımıyla dönüölçerlerin rezonans karakteristikleri ve açısal hız hassasiyeti testleri yapılmıştır. Nikel dönüölçerler için 500, silisyum dönüölçerler için ise vakum ortamında 14,000 civarında kalite faktörleri elde edilmiştir. Açısal hız testine tabi tutulan bir silisyum dönüölçer prototipinin orantı katsayısı 50Hz bant genişliğinde 0.56derece/saniye, ofseti de 142derece/saniye olarak ölçülmüştür. Yapılan ölçümler ışığında bu dönüölçerin sürüş ve algılama modlarının rezonans frekansları eşitlendiğinde ölçebileceği açısal hızlar ise 50Hz bandında 0.03derece/saniye veya 3Hz bandında 15derece/saat olarak hesaplanmıştır. Bu çalışma ile savunma sanayii için kritik sayılan dönüölçerler konusunda önemli bir deneyim ve altyapı kazanılmıştır.
Citation Formats
T. Akın and E. S. Alper, “Silisyum mikroişlenmiş jiroskop geliştirilmesi,” 2003. Accessed: 00, 2020. [Online]. Available: https://app.trdizin.gov.tr/publication/project/detail/TVRJeE1RPT0.