Show/Hide Menu
Hide/Show Apps
Logout
Türkçe
Türkçe
Search
Search
Login
Login
OpenMETU
OpenMETU
About
About
Open Science Policy
Open Science Policy
Open Access Guideline
Open Access Guideline
Postgraduate Thesis Guideline
Postgraduate Thesis Guideline
Communities & Collections
Communities & Collections
Help
Help
Frequently Asked Questions
Frequently Asked Questions
Guides
Guides
Thesis submission
Thesis submission
MS without thesis term project submission
MS without thesis term project submission
Publication submission with DOI
Publication submission with DOI
Publication submission
Publication submission
Supporting Information
Supporting Information
General Information
General Information
Copyright, Embargo and License
Copyright, Embargo and License
Contact us
Contact us
Rezonant MEMS Aygıt Test Yatağı Geliştirilmesi Projesi
Date
2014-12-31
Author
Azgın, Kıvanç
Metadata
Show full item record
This work is licensed under a
Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License
.
Item Usage Stats
130
views
0
downloads
Cite This
MikroElektroMekanik Sistemler veya kısaca MEMS olarak adlandırılan teknoloji ile üretilen rezonant algılayıcılar ve eyleyiciler düşük güç tüketimleri, küçük ve hafif olmaları, dayanıklılıkları ve düşük maliyetli olmalarından dolayı son yıllarda tüketici elektroniğinde büyük bir pazara sahip olmuş durumdadırlar. Bu hızlı gelişimin en büyük nedeni MEMS üretim teknolojileriyle kitle üretimi yapılabilmasi ve çok karmaşık algılayıcı-eyleyicilerin düşük maliyetle üretilebilmeleridir. Bu algılayıcıların yüksek performanslı modellerinin ARGE çalışmaları da çok yüksek yoğunlukta yatırım çekmektedir.Bu aygıtların diğer bir ortak özelliği de iç basıncı ayarlanmış paketlerde çalışmalarıdır. İçlerindeki gazın türü ve basıncı birçok aygıt için hayati öneme sahiptir. Bu sistemlerin ARGE çalışmalarında gerekli basınç ve gaz türünü belirlemek için vakumlu mini odalar kullanılmaktadır. Bu odaların basınçları 10-9 atm den birkaç atm ye kadar değişiklik gösterebilmektedir. Bu proje ile geliştirilecek Test Yatağı ile MEMS tabanlı geliştirilen algılayıcıların ve eyleyicilerin hızlı ve tekrarlanabilir bir şekilde, vakum ortamında test edilebilmeleri için esnek bir altyapı oluşturulacaktır.
Subject Keywords
Teknolojik Bilimler (Mühendislikler)
,
Enstrümantasyon ve Ölçüm Teknolojisi
,
Algılama Cihazları ve Dönüştürücüler(Fotodedektörler
,
Fiberoptik
,
Biyosensör
,
vs.)
,
Avionik Sistemler ve Uzay Enstrümantasyonu
,
Uzay İtki Sistemleri
,
Mekatronik
,
Sistem Dinamiği ve Kontrolü
,
Makina Mühendisliği ve Teknolojisi
URI
https://hdl.handle.net/11511/61946
Collections
Department of Mechanical Engineering, Project and Design
Suggestions
OpenMETU
Core
Zaman Çözülümlü Terahertz Spektrometre Geliştirilmesi (pompa/sonda Tekniği)
Altan, Hakan(2013-12-31)
Kapsam: Bu proje çalışmasında, laboratuvarlarımızda kurmuş olduğumuz THz spektroskop sistemleri ile farklı ölçüm yeteneklerini geliştirmeyi ve kazanmayı hedefliyoruz. Bu projede hedeflenen çalışmalar, zamana dayalı ölçüm tekniklerinin geliştirilmesine odaklanacaktır. Atmalı THz sistemleri ile dinamik ölçüm kabiliyetinin kazanılması, madde karakterizasyonu yapan bir çok araştırma grubu için önemli bir destek sağlayacaktır. Dinamik ölçüm yeteneği, elektromanyetik spektrumun diğer alanlarında hızlı darbe üre...
İngilizce Derslerinde Bilişim Teknolojileri Kullanımı
Erkan, Gökçe; Balbay, Seher(2017-12-31)
Özellikle bölüm öğrencilerinin aldığı ENG101, ENG102, ENG211, ENG311 derslerinde Bilişim Teknolojilerini daha aktif ve etkili kullanılması için öğretim elemanlarının bilgilendirilmesi hedeflemektedir.
Fotovoltaik Güneş Gözelerinin Üretimine Yönelik Pirit Nanokristal Sentezi ve Karakterizasyonu
Volkan, Mürvet; Kalay, Yunus Eren(2015-12-31)
Başvurusu yapılan bu araştırma teklifinin amacı, Orta Doğu Teknik Üniversitesi Metalurji ve Malzeme Mühendisliği, Mikro ve Nano Teknolojiler Programı ve Kimya Bölümleri’nde ortaklaşa yürütülmek üzere, fotovoltaik uygulamalarda kullanılmak üzere pirit nanokristallerinden güneş gözelerinin üretilmesini ve detaylı içyapı karakterizasyonunu içermektedir. DAP kapsamında, sunulan disiplinlerarası proje teklifi ile, geleneksel PV hücre malzemelerinin yerini alabilecek nanokristal pirit malzemesinin üretilmesi ve g...
Yer Sistem Bilimleri Modelleme Araştırma Laboratuvarı Altyapı Projesi
Yücel, İsmail; Yılmaz, Ayşen(2013-12-31)
Yer Sistem Bilimleri uygulamalı modelleme derslerinde, yüksek lisans/doktora tez çalımaları ve araştırma çalışmaları kapsamında kullanılmak üzere yüksek kapasite ve hızda çalışan bilgisayarların (ana sürücü ve bağlı bilgisayarlar) yer aldığı bir araştırma laboratuvarı kurulacaktır. Bu laboratuvarın, özellikle Yer Sistem Bilimleri programının yüksek lisans/doktora tez öğrencilerinin ve öğretim elemanlarının tez ve araştırma faaliyetlerinde etkin olarak kullanılması hedeflenmektedir.
Merkez Kaboratuvar AR-GE Eğitim ve Ölçme Merkezinde Malzeme Karakterizasyonu
Özkan, Necati; Köksal, Serhat; Güzel, Ali; Behlülgil, Ahmet Kemal(2016-12-31)
ODTÜ Merkez Laboratuvar, üniversitelerdeki tüm araştırmacılara açık olan laboratuvar olanakları ile özel ve kamu kuruluşlarının araştırma, ürün geliştirme ve üretim aşamalarında ihtiyaç duydukları test ve ölçüm isteklerini karşılayan bir laboratuvar olarak çalışmaktadır. Bu hizmeti sunmak için gerekli olan sarf ve teçhizat alımlarının bir kısmı bu projeden elde edilen kaynak kullanılarak gerçekleştirilecektir.
Citation Formats
IEEE
ACM
APA
CHICAGO
MLA
BibTeX
K. Azgın, “Rezonant MEMS Aygıt Test Yatağı Geliştirilmesi Projesi,” 2014. Accessed: 00, 2020. [Online]. Available: https://hdl.handle.net/11511/61946.