Rezonant MEMS Aygıt Test Yatağı Geliştirilmesi Projesi

Date

2014-12-31

Author

Azgın, Kıvanç

Metadata

Show full item record

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.

Item Usage Stats

7
views

0
downloads

MikroElektroMekanik Sistemler veya kısaca MEMS olarak adlandırılan teknoloji ile üretilen rezonant algılayıcılar ve eyleyiciler düşük güç tüketimleri, küçük ve hafif olmaları, dayanıklılıkları ve düşük maliyetli olmalarından dolayı son yıllarda tüketici elektroniğinde büyük bir pazara sahip olmuş durumdadırlar. Bu hızlı gelişimin en büyük nedeni MEMS üretim teknolojileriyle kitle üretimi yapılabilmasi ve çok karmaşık algılayıcı-eyleyicilerin düşük maliyetle üretilebilmeleridir. Bu algılayıcıların yüksek performanslı modellerinin ARGE çalışmaları da çok yüksek yoğunlukta yatırım çekmektedir.Bu aygıtların diğer bir ortak özelliği de iç basıncı ayarlanmış paketlerde çalışmalarıdır. İçlerindeki gazın türü ve basıncı birçok aygıt için hayati öneme sahiptir. Bu sistemlerin ARGE çalışmalarında gerekli basınç ve gaz türünü belirlemek için vakumlu mini odalar kullanılmaktadır. Bu odaların basınçları 10-9 atm den birkaç atm ye kadar değişiklik gösterebilmektedir. Bu proje ile geliştirilecek Test Yatağı ile MEMS tabanlı geliştirilen algılayıcıların ve eyleyicilerin hızlı ve tekrarlanabilir bir şekilde, vakum ortamında test edilebilmeleri için esnek bir altyapı oluşturulacaktır.

Subject Keywords

Teknolojik Bilimler (Mühendislikler), Enstrümantasyon ve Ölçüm Teknolojisi, Algılama Cihazları ve Dönüştürücüler(Fotodedektörler, Fiberoptik, Biyosensör, vs.), Avionik Sistemler ve Uzay Enstrümantasyonu, Uzay İtki Sistemleri, Mekatronik, Sistem Dinamiği ve Kontrolü, Makina Mühendisliği ve Teknolojisi

URI

https://hdl.handle.net/11511/61946

Collections

Department of Mechanical Engineering, Project and Design