Anten Uygulamalari için Yeni MEMS Anahtar Yapiları

2002-09-18
Ünlü, Mehmet
Sağkol, Hüseyin
Topallı, Kaan
Aydın Çivi, Hatice Özlem
Demir, Şimşek
Koç, Seyit Sencer
Akın, Tayfun
Bu bildiride Mikro Elektro Mekanik Sistemler (MEMS) teknolojisi kullanılarak üretilmiş iki RF anahtar sunulmaktadır. Bu anahtarlar özellikle fazla sayıda anahtar gerektiren MEMS faz kaydırıcı ve faz dizili anten gibi uygulamalara yönelik tasarlanmışlardır. Yapılardan birincisi eşdüzlemli dalga kılavuzu üzerinde paralel anahtarlama yapan “T-kanatlı” anahtardır ve yapılan benzetimlerle araya sokma yitimi, 10 GHz frekansında -0.035 dB, yalıtımı ise -33 dB olarak belirlenmiştir. Diğer yapı eşdüzlemli dalga kılavuzunun canlı hattı üstünde çalışan seri anahtar olarak tasarlanmıştır. Benzetim sonuçlarına göre bu yapının 10 GHz frekansında araya sokma yitimi -0.015 dB, yalıtımı ise -20 dB olarak belirlenmiştir. Yapılar MEMS ve mikroişleme teknolojisi ile cam tabanlar üzerinde üretilmiştir.
URSI-Türkiye'2002, Türkiye, (18 - 20 Eylül 2002)

Suggestions

RF MEMS Kapasitörler ile Rezonans Frekansi Ayarlanabilen Antenler
Erdil, Evren; Topallı, Kaan; Ünlü, Mehmet; Aydın Çivi, Hatice Özlem; Akın, Tayfun (2006-09-06)
Bu bildiride, MEMS teknolojisi ile üretilen rezonans frekansı ayarlanabilir dikdörtgensel yarık ve mikroşerit yama anten yapıları sunulmuştur. İki yapıda da RF MEMS kapasitörler elektrostatik kuvvetle hareketlendirilerek yapıların eşdeğer sığaları değiştirilmiş ve rezonans frekansları ayarlanabilmiştir. Benzetim ve ölçüm sonuçlarına göre her iki yapı için rezonans frekansında 1 GHz’e yakın kaymalar elde edilmiştir.
RF MEMS Tekonolojisi ile Kapasitif ve Metal Metal Baglantili Paralel Anahtar Yapilari
Atasoy, Halil İbrahim; Topallı, Kaan; Ünlü, Mehmet; İstanbulluoğlu, İpek; Engin Ufuk, Temoçin; Ömer, Bayraktar; Demir, Şimşek; Aydın Çivi, Hatice Özlem; Koç, Seyit Sencer; Akın, Tayfun (null; 2006-09-06)
Bu çalışmada, RF MEMS teknolojisiyle üretilen iki adet paralel anahtar yapısı sunulmaktadır. Bunlardan birincisi endüktans uyumlamalı, kapasitif bağlantılı anahtar olup getirdiği yüksek aşağı durum kapasitansı ve endüktansı ile X-bant frekansları içerisinde yüksek yalıtım elde etmeye imkan vermektedir. İkinci tip MEMS anahtar ise metal-metal bağlantılı paralel anahtar olup sağladığı DC bağlantı hem düşük kayıplı anahtarlamaya izin vermekte, hem de köprülerin anahtarlama voltajlarının RF karakteristiği bozul...
Nano Boyutta Yapılandırılmış (bit patterned media) Manyetik Bilgi Saklama malzemelerinin Yüksek Performanslı Manyetik Kuvvet Mikroskopisi(ypMKM) ile karakterizasyonu
Oral, Ahmet(2018-12-31)
Bu projede 10nm ye kadar nano-yapılandırılmış manyetik bilgi saklama malzemelerinin yüksek performanslı Manyetik Kuvvet Mikroskobu(ypMKM) sistemi kullanılarak karakterizasyonu hedeflenmektedir. Manyetik bilgi saklama teknolojisi şu an 1 inç kareye yaklaşık olarak 1Terabit (1Tbpsi) bilgi saklayabilecek seviyeye gelmiştir. Bu kapasitenin 10 kat daha artırılabilmesi ve 10Tbpsi için düşünülen yöntemlerden bir tanesi nanoyapılandırılmış manyetik malzemelerdir. Ancak bu malzemelerin manyetik kuvvet mikroskopları ...
Kristal yüzeylerinin taramalı tünelleme mikroskobu ile ultra yüksek vakum koşullarında incelenmesi
Ellialtıoğlu, Recai; Oral, Ahmet(1993-04-01)
Bir ultra yüksek vakum örnek hazırlama ve analiz odası tasarımlandı ve imal edilmek üzere yurt dışına ısmarlandı, ve sonra taramalı tünelleme mikroskobu ve düşü enerjili elektron kırınımı teknikleri yardımıyla ultra yüksek vakum (UHV) koşullarında temiz yarıiletken yüzeylerin incelenmesi için bir sisteme monte edildi. UHV uyumlu STM'nun tasarımı, imali ve testi yapıldı. Bu tasarımda kaba yaklaştırma için piezo kaydırak ile tarama için ayrık elektrotlu piezo tüp kullamhniş olup vakum altında uç ve örnek deği...
Radyasyon Basıncı ile Tahrik Edilen Düşük Sıcaklık Atomik Kuvvet Mikroskopisi(DS-AKM) Geliştirilmesi
Oral, Ahmet(2018-12-31)
Bu projede radyasyon basıncı kullanılarak yayı titreştirerek 2-300K sıcaklık aralığında çalışan bir Atomik Kuvvet Mikroskobu(DS-AKM) sistemi dünyada ilk olarak geliştirilecektir. Yayın sapmasını ölçen lazer'in DC ışık şiddeti ve lazer akımı yayın rezonans frekansında modüle edilerek AKM yayına DC ve AC kuvvet, radyasyon basıncı sayesinde uygulanacaktır. Bu mikroskop nanometre çözünürlükle 2-300K sıcaklık aralığında çalışacaktır. Radyasyon tahrik mekanizması ile AKM yaylarının yay sabiti de direk olarak ölçü...
Citation Formats
M. Ünlü et al., “Anten Uygulamalari için Yeni MEMS Anahtar Yapiları,” presented at the URSI-Türkiye′2002, Türkiye, (18 - 20 Eylül 2002), İstanbul, Türkiye, 2002, Accessed: 00, 2021. [Online]. Available: https://hdl.handle.net/11511/74930.