Elektrostatik MEMS rezonatörlerde kalite faktörünü yükselten ve kaçak akımını düşüren ikinci harmonik okumaya dayalı bir karakterizasyon/sürüş yöntemi

2019
Külah, Haluk
Zorlu, Özge
Kangül, Mustafa
Aydın, Eren
Furkan, Gökçe
Başvuru konusu buluş, elektrostatik sürülen değişken boşluklu rezonatörler için yüksek kalite faktörlü ve kaçak akım etkilerinden arındırılmış yeni bir karakterizasyon yöntemi ile ilgilidir.
Citation Formats
H. Külah, Ö. Zorlu, M. Kangül, E. Aydın, and G. Furkan, “Elektrostatik MEMS rezonatörlerde kalite faktörünü yükselten ve kaçak akımını düşüren ikinci harmonik okumaya dayalı bir karakterizasyon/sürüş yöntemi,” 00, 2019.