Show/Hide Menu
Hide/Show Apps
anonymousUser
Logout
Türkçe
Türkçe
Search
Search
Login
Login
OpenMETU
OpenMETU
About
About
Open Science Policy
Open Science Policy
Communities & Collections
Communities & Collections
Help
Help
Frequently Asked Questions
Frequently Asked Questions
Videos
Videos
Thesis submission
Thesis submission
Publication submission with DOI
Publication submission with DOI
Publication submission
Publication submission
Contact us
Contact us
Bor nitrür üretimi
Download
T0RNeU9EZz0.pdf
Date
2008
Author
Özbelge, Önder H.
Katırcıoğlu, Bayram
Atılgan, İsmail
Özkol, Engin
Anutgan, Tamila Aliyeva
Anutgan, Mustafa
Metadata
Show full item record
This work is licensed under a
Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License
.
Item Usage Stats
70
views
47
downloads
Cite This
Bor nitrür, grafite çok benzer altıgen (h-BN) yapıda tabakalar halinde veya kübik yapıda (k- BN) elmasa çok yakın özelliklerde bulunabilir. k-BN bilinen malzemeler içinde elmastan sonra en sert olduğundan malzeme endüstrisinde sert metal kaplamalar yapmada (elmastan daha üstün özelliklerde, metal işlemede) kullanılmaktadır. Ayrıca, elmas sadece p-türü katkılanabildiği halde, k-BN hem p hem de n türü katkılanabilmektedir, ve dolayısıyla elektronik devrelerin yapı taşı olan p-n eklemini üretmek olası olduğundan mor-mavi ışık bölgesinde ışık algılayıcısı (detektör) ve yayınlayıcısı (LED) uygulamasına açıktır. k-BN tabanlı bu devre elemanlarının, opto-elektronik yatkınlıkları yanında, elmastan daha yüksek bir yasak enerji aralığına sahip olmalarından dolayı çok daha yüksek sıcaklık ortamlarında kullanılmalarını sağlanabilir. Son yıllarda yapılan araştırmalar k-BN’nin plazma ortamında Fiziksel Buhar Biriktirme (FBB) veya Kimyasal Buhar Biriktirme (KBB) yöntemleri ile üretilebileceğini göstermiştir. Ancak bu çalışmalar biriktirilen maddenin özelliklerine (k-BN içeriği ve mekanik gerilim) ve birikme hızına etki eden üretim parametrelerinin (kullanılan bor ve azot kaynakları, kullanılan gaz kompozisyonu, kaplanan yüzeyi oluşturan madde(taban), uygulanan plazma yoğunluğu, RF gücü, bias voltaj, taban sıcaklığı) nasıl etki ettiğini sistematik bir yaklaşımla incelememiştir. Elde, çevre birimleriyle birlikte, kurulu bulunan hem FBB, hem de KBB düzenekleriyle (yapılabilir bazı değişiklikler ve eklerle), yukarıda sözü edilen sistematik çalışma olanaklar çerçevesinde gerçekleştirilmiştir. Başka bir deyişle hem RF hem de MW kullanan KBB ve magnetron çığlama kullanan KBB teknikleriyle büyütülen filmler, eldeki ve proje bütçesiyle sağlanan olan ölçüm/test düzenekleriyle çözümlenmiştir. Böylece üretim test döngüsü yinelenerek hedeflenen mekanik ve opto-elektronik özellikte k-BN ince filmleri ve ondan üretilebilecek yapıları oluşturan en uygun üretim koşulları belirlenmeye çalışılmıştır.
URI
https://app.trdizin.gov.tr/publication/project/detail/T0RNeU9EZz0
https://hdl.handle.net/11511/49487
Collections
Department of Chemical Engineering, Project and Design
Citation Formats
IEEE
ACM
APA
CHICAGO
MLA
BibTeX
Ö. H. Özbelge, B. Katırcıoğlu, İ. Atılgan, E. Özkol, T. A. Anutgan, and M. Anutgan, “Bor nitrür üretimi,” 2008. Accessed: 00, 2020. [Online]. Available: https://app.trdizin.gov.tr/publication/project/detail/T0RNeU9EZz0.