Show/Hide Menu
Hide/Show Apps
anonymousUser
Logout
Türkçe
Türkçe
Search
Search
Login
Login
OpenMETU
OpenMETU
About
About
Open Science Policy
Open Science Policy
Communities & Collections
Communities & Collections
Help
Help
Frequently Asked Questions
Frequently Asked Questions
Videos
Videos
Thesis submission
Thesis submission
Publication submission with DOI
Publication submission with DOI
Publication submission
Publication submission
Contact us
Contact us
Manyetik Pusula Uygulamaları için Mekanik Rezonans Tabanlı Mikro Manyetometre Geliştirilmesi
Download
TVRjNU16YzM.pdf
Date
2017
Author
Azgın, Kıvanç
Azgın, Kıvanç
Metadata
Show full item record
This work is licensed under a
Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License
.
Item Usage Stats
2
views
25
downloads
Cite This
Bu raporda, rezonans frekansı ölçümü temelinde çalışan ve algılama elemanı olarak birMEMS yük hücresine sahip olan bir Lorentz kuvveti manyetometresinin geliştirilmesisunulmaktadır.Geliştirilen manyetometre, hem tarak yapılı hem de düz plakalı elektrotları olan bir "Çift-Bağlı-Diyapazon" (ÇBD) ile, merkezlerinden ve iki ucundan bu diyapazona bağlı bir ızgarayapısından oluşmaktadır. Izgara yapısı hem elektrik direncini azaltarak daha az ısınmayasağlamakta hem de ÇBD üzerinde Lorentz kuvvetini oluşturmaktadır.35 μm yapısal kalınlığa sahip algılayıcı yongalar "Yalıtkan-Üzeri-Silisyum" (YÜS) disklerkullanılarak üretilmiştir. Çok turlu bobin yapısının üretilebilmesi içn ek yalıtım ve metalkaplama adımları eklenmiştir.Çalışmada üç farklı okuma elektroniği yaklaşımı karşılaştırmalı olarak çalışılmıştır. Buyaklaşımlar "Kendinden Rezonans Döngüsü", "Faz-Kilitli-Döngü" ve "Sabit Frekanslı TahrikAltında Genlik Ölçümü" olarak listelenmiştir.Geliştirilen 6 farklı manyetometre yapısı detaylıca test edilmiştir. Çalışmada en yüksekhassasiyete "Tümleşik kirişli ve tarak elektrotlu" ÇBD yapısına sahip manyetometreler "Faz-Kilitli-Döngü" ile rezonansta tutulurken ulaşılmıştır.Çalışmada üretilen manyetometrelerin testi için kontrollü manyetik alan ve vakum seviyesiimkanı veren yetkin bir test yatağı da geliştirilmiştir.
Subject Keywords
Edebiyat
URI
https://app.trdizin.gov.tr/publication/project/detail/TVRjNU16YzM
https://hdl.handle.net/11511/50090
Collections
Department of Mechanical Engineering, Project and Design
Citation Formats
IEEE
ACM
APA
CHICAGO
MLA
BibTeX
K. Azgın and K. Azgın, “Manyetik Pusula Uygulamaları için Mekanik Rezonans Tabanlı Mikro Manyetometre Geliştirilmesi,” 2017. Accessed: 00, 2020. [Online]. Available: https://app.trdizin.gov.tr/publication/project/detail/TVRjNU16YzM.