Manyetik Pusula Uygulamaları için Mekanik Rezonans Tabanlı Mikro Manyetometre Geliştirilmesi

Download
2017
Azgın, Kıvanç
Azgın, Kıvanç
Bu raporda, rezonans frekansı ölçümü temelinde çalışan ve algılama elemanı olarak birMEMS yük hücresine sahip olan bir Lorentz kuvveti manyetometresinin geliştirilmesisunulmaktadır.Geliştirilen manyetometre, hem tarak yapılı hem de düz plakalı elektrotları olan bir "Çift-Bağlı-Diyapazon" (ÇBD) ile, merkezlerinden ve iki ucundan bu diyapazona bağlı bir ızgarayapısından oluşmaktadır. Izgara yapısı hem elektrik direncini azaltarak daha az ısınmayasağlamakta hem de ÇBD üzerinde Lorentz kuvvetini oluşturmaktadır.35 μm yapısal kalınlığa sahip algılayıcı yongalar "Yalıtkan-Üzeri-Silisyum" (YÜS) disklerkullanılarak üretilmiştir. Çok turlu bobin yapısının üretilebilmesi içn ek yalıtım ve metalkaplama adımları eklenmiştir.Çalışmada üç farklı okuma elektroniği yaklaşımı karşılaştırmalı olarak çalışılmıştır. Buyaklaşımlar "Kendinden Rezonans Döngüsü", "Faz-Kilitli-Döngü" ve "Sabit Frekanslı TahrikAltında Genlik Ölçümü" olarak listelenmiştir.Geliştirilen 6 farklı manyetometre yapısı detaylıca test edilmiştir. Çalışmada en yüksekhassasiyete "Tümleşik kirişli ve tarak elektrotlu" ÇBD yapısına sahip manyetometreler "Faz-Kilitli-Döngü" ile rezonansta tutulurken ulaşılmıştır.Çalışmada üretilen manyetometrelerin testi için kontrollü manyetik alan ve vakum seviyesiimkanı veren yetkin bir test yatağı da geliştirilmiştir.
Citation Formats
K. Azgın and K. Azgın, “Manyetik Pusula Uygulamaları için Mekanik Rezonans Tabanlı Mikro Manyetometre Geliştirilmesi,” 2017. Accessed: 00, 2020. [Online]. Available: https://app.trdizin.gov.tr/publication/project/detail/TVRjNU16YzM.