Manyetik Pusula Uygulamaları için Mekanik Rezonans Tabanlı Mikro Manyetometre Geliştirilmesi

Date

2017

Author

Azgın, Kıvanç
Azgın, Kıvanç

Metadata

Show full item record

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.

Item Usage Stats

2
views

25
downloads

Cite This

Bu raporda, rezonans frekansı ölçümü temelinde çalışan ve algılama elemanı olarak birMEMS yük hücresine sahip olan bir Lorentz kuvveti manyetometresinin geliştirilmesisunulmaktadır.Geliştirilen manyetometre, hem tarak yapılı hem de düz plakalı elektrotları olan bir "Çift-Bağlı-Diyapazon" (ÇBD) ile, merkezlerinden ve iki ucundan bu diyapazona bağlı bir ızgarayapısından oluşmaktadır. Izgara yapısı hem elektrik direncini azaltarak daha az ısınmayasağlamakta hem de ÇBD üzerinde Lorentz kuvvetini oluşturmaktadır.35 μm yapısal kalınlığa sahip algılayıcı yongalar "Yalıtkan-Üzeri-Silisyum" (YÜS) disklerkullanılarak üretilmiştir. Çok turlu bobin yapısının üretilebilmesi içn ek yalıtım ve metalkaplama adımları eklenmiştir.Çalışmada üç farklı okuma elektroniği yaklaşımı karşılaştırmalı olarak çalışılmıştır. Buyaklaşımlar "Kendinden Rezonans Döngüsü", "Faz-Kilitli-Döngü" ve "Sabit Frekanslı TahrikAltında Genlik Ölçümü" olarak listelenmiştir.Geliştirilen 6 farklı manyetometre yapısı detaylıca test edilmiştir. Çalışmada en yüksekhassasiyete "Tümleşik kirişli ve tarak elektrotlu" ÇBD yapısına sahip manyetometreler "Faz-Kilitli-Döngü" ile rezonansta tutulurken ulaşılmıştır.Çalışmada üretilen manyetometrelerin testi için kontrollü manyetik alan ve vakum seviyesiimkanı veren yetkin bir test yatağı da geliştirilmiştir.

Subject Keywords

Edebiyat

URI

https://app.trdizin.gov.tr/publication/project/detail/TVRjNU16YzM
https://hdl.handle.net/11511/50090

Collections

Department of Mechanical Engineering, Project and Design