RF MEMS Yapilarinin Vakum Testi Için Pirani Gauge

2006-09-06
Pasin, Özlem
Akın, Tayfun
Bu bildiride RF MEMS yapılarının vakum testi için geliştirilmiş pirani gauge olarak adlandırılan basınç sensörü sunulmaktadır. Özgün tasarımlı soğutucu plaklar, sensor ve plaklar arasındaki mesafenin daralmasını sağladığından sensörün çalışma aralığı ve hassasiyeti artmaktadır. Sensörün fabrikasyonu kolay olmakla beraber, maliyeti oldukça düşüktür ve birçok MEMS yapısına uygulanabilir.
Citation Formats
Ö. Pasin and T. Akın, “RF MEMS Yapilarinin Vakum Testi Için Pirani Gauge,” 2006, p. 386, Accessed: 00, 2021. [Online]. Available: https://hdl.handle.net/11511/84622.