RF MEMS Yapilarinin Vakum Testi Için Pirani Gauge

2006-09-06
Pasin, Özlem
Akın, Tayfun
Show full item record
76
views
0
downloads
Bu bildiride RF MEMS yapılarının vakum testi için geliştirilmiş pirani gauge olarak adlandırılan basınç sensörü sunulmaktadır. Özgün tasarımlı soğutucu plaklar, sensor ve plaklar arasındaki mesafenin daralmasını sağladığından sensörün çalışma aralığı ve hassasiyeti artmaktadır. Sensörün fabrikasyonu kolay olmakla beraber, maliyeti oldukça düşüktür ve birçok MEMS yapısına uygulanabilir.
https://hdl.handle.net/11511/84622
National URSI Symposium Turkey (6 - 08 Eylül 2006)
Department of Electrical and Electronics Engineering, Conference / Seminar

Suggestions

RF MEMS Kapasitörler ile Rezonans Frekansi Ayarlanabilen Antenler
Erdil, Evren; Topallı, Kaan; Ünlü, Mehmet; Aydın Çivi, Hatice Özlem; Akın, Tayfun (2006-09-06)
Bu bildiride, MEMS teknolojisi ile üretilen rezonans frekansı ayarlanabilir dikdörtgensel yarık ve mikroşerit yama anten yapıları sunulmuştur. İki yapıda da RF MEMS kapasitörler elektrostatik kuvvetle hareketlendirilerek yapıların eşdeğer sığaları değiştirilmiş ve rezonans frekansları ayarlanabilmiştir. Benzetim ve ölçüm sonuçlarına göre her iki yapı için rezonans frekansında 1 GHz’e yakın kaymalar elde edilmiştir.
RF MEMS Teknolojisi ile Ayarlanabilir Empedans Uyumlama ve Güç Bölücü Devreleri
Ünlü, Mehmet; Sağkol, Hüseyin; Topallı, Kaan; Aydın Çivi, Hatice Özlem; Demir, Şimşek; Koç, Seyit Sencer; Akın, Tayfun (2002-09-18)
Bu çalışmada RF MEMS teknolojisi kullanılarak gerçekleştirilen ayarlanabilir empedans uyumlama ve güç bölücü devrelerinin tasarımı ve üretimi sunulmaktadır. Ayarlanabilir empedans uyumlama devresi üç kütüklü (triple stub) uyumlama teorisi üzerine tasarlanmıştır. Kütüklerin boylarını değiştirilebilmesi ve gerekli geçirileri ekleyebilmesi kütüklerin üzerine yerleştirilmiş MEMS anahtarlarla sağlanmaktadır. İki uyumlama devresi kullanılarak tasarlanan güç bölücü ise, ayarlanabilir olduğundan, giriş gücünü, herh...
RF MEMS Teknolojisi ile Ayarlanabilir Empedans Uyumlama Devresi
Ünlü, Mehmet; Topallı, Kaan; Demir, Şimşek; Aydın Çivi, Hatice Özlem; Koç, Seyit Sencer; Akın, Tayfun (2006-09-06)
Bu çalışmada RF MEMS teknolojisi kullanılarak gerçekleştirilen ayarlanabilir empedans uyumlama ve güç bölücü devrelerinin tasarımı ve üretimi sunulmaktadır. Ayarlanabilir empedans uyumlama devresi üç kütüklü (triple stub) uyumlama teorisi üzerine tasarlanmıştır. Kütüklerin boylarını değiştirilebilmesi ve gerekli geçirileri ekleyebilmesi kütüklerin üzerine yerleştirilmiş MEMS anahtarlarla sağlanmaktadır. İki uyumlama devresi kullanılarak tasarlanan güç bölücü ise, ayarlanabilir olduğundan, giriş gücünü, herh...
RF MEMS teknolojisi ile tek parça faz dizili anten yapisi
Topallı, Kaan; Ünlü, Mehmet; Aydın Çivi, Hatice Özlem; Demir, Şimşek; Koç, Seyit Sencer; Akın, Tayfun (null; 2006-09-06)
: Bu bildiride, RF MEMS teknolojisi ile üretilen tek parça faz dizli anten yapısının tasarımı, üretimi ve ölçüm sonuçları sunulmuştur. 15 GHz çalışma frekansında tasarlanan faz dizili anten sistemi, cam taban üzerine doğrusal şekilde dizilmiş 4 adet mikroşerit yama anten, 3-bit faz kaydırıcılar ve bütünleşik besleme ağından oluşmaktadır. ODTÜ Mikroelektronik tesislerinde geliştirilen üretim süreci ile gerçekleştirilen faz dizili antenin ana hüzmesinin 4°, 6° ve 15° derecelere döndürülebildiği görülmüştür. S...
RF MEMS teknolojisi ile yansıtıcı dizi anteni tasarımı
Bayraktar, Ömer; Topallı, Kaan; Ünlü, Mehmet; İstanbulluoğlu, İpek; Engin Ufuk, Temoçin; Atasoy, Halil İbrahim; Demir, Şimşek; Aydın Çivi, Hatice Özlem; Koç, Seyit Sencer; Akın, Tayfun (null; 2006-09-06)
Bu bildiride RF MEMS teknolojisi kullanılarak tasarlanmış, hüzme yönü ayarlanabilir bir yansıtıcı dizi anten tasarımı sunulmaktadır. İki katmandan oluşan yansıtıcı dizi antenin üstteki birinci katmanı yama antenleri taşımakta, aşağı bakan ikinci katmanı ise hüzme yönünü ayarlamakta kullanılan mikroşerit hatlar ve MEMS anahtarları taşımaktadır. Bu iki katman, aralarında bulunan yarık ile birbirine bağlanmıştır. Tasarımda yüzeye dik olarak gelen elektromanyetik dalganın yansıma açısı, anten dizisindeki herbir...
Citation Formats
Ö. Pasin and T. Akın, “RF MEMS Yapilarinin Vakum Testi Için Pirani Gauge,” 2006, p. 386, Accessed: 00, 2021. [Online]. Available: https://hdl.handle.net/11511/84622.
METU IIS - Integrated Information Service open@metu.edu.tr