RF MEMS Yapilarinin Vakum Testi Için Pirani Gauge

2006-09-06
Pasin, Özlem
Akın, Tayfun
Bu bildiride RF MEMS yapılarının vakum testi için geliştirilmiş pirani gauge olarak adlandırılan basınç sensörü sunulmaktadır. Özgün tasarımlı soğutucu plaklar, sensor ve plaklar arasındaki mesafenin daralmasını sağladığından sensörün çalışma aralığı ve hassasiyeti artmaktadır. Sensörün fabrikasyonu kolay olmakla beraber, maliyeti oldukça düşüktür ve birçok MEMS yapısına uygulanabilir.
National URSI Symposium Turkey (6 - 08 Eylül 2006)

Suggestions

RF MEMS Teknolojisi ile Ayarlanabilir Empedans Uyumlama ve Güç Bölücü Devreleri
Ünlü, Mehmet; Sağkol, Hüseyin; Topallı, Kaan; Aydın Çivi, Hatice Özlem; Demir, Şimşek; Koç, Seyit Sencer; Akın, Tayfun (2002-09-18)
Bu çalışmada RF MEMS teknolojisi kullanılarak gerçekleştirilen ayarlanabilir empedans uyumlama ve güç bölücü devrelerinin tasarımı ve üretimi sunulmaktadır. Ayarlanabilir empedans uyumlama devresi üç kütüklü (triple stub) uyumlama teorisi üzerine tasarlanmıştır. Kütüklerin boylarını değiştirilebilmesi ve gerekli geçirileri ekleyebilmesi kütüklerin üzerine yerleştirilmiş MEMS anahtarlarla sağlanmaktadır. İki uyumlama devresi kullanılarak tasarlanan güç bölücü ise, ayarlanabilir olduğundan, giriş gücünü, herh...
RF MEMS Kapasitörler ile Rezonans Frekansi Ayarlanabilen Antenler
Erdil, Evren; Topallı, Kaan; Ünlü, Mehmet; Aydın Çivi, Hatice Özlem; Akın, Tayfun (2006-09-06)
Bu bildiride, MEMS teknolojisi ile üretilen rezonans frekansı ayarlanabilir dikdörtgensel yarık ve mikroşerit yama anten yapıları sunulmuştur. İki yapıda da RF MEMS kapasitörler elektrostatik kuvvetle hareketlendirilerek yapıların eşdeğer sığaları değiştirilmiş ve rezonans frekansları ayarlanabilmiştir. Benzetim ve ölçüm sonuçlarına göre her iki yapı için rezonans frekansında 1 GHz’e yakın kaymalar elde edilmiştir.
RF MEMS Teknolojisi ile Ayarlanabilir Empedans Uyumlama Devresi
Ünlü, Mehmet; Topallı, Kaan; Demir, Şimşek; Aydın Çivi, Hatice Özlem; Koç, Seyit Sencer; Akın, Tayfun (2006-09-06)
Bu çalışmada RF MEMS teknolojisi kullanılarak gerçekleştirilen ayarlanabilir empedans uyumlama ve güç bölücü devrelerinin tasarımı ve üretimi sunulmaktadır. Ayarlanabilir empedans uyumlama devresi üç kütüklü (triple stub) uyumlama teorisi üzerine tasarlanmıştır. Kütüklerin boylarını değiştirilebilmesi ve gerekli geçirileri ekleyebilmesi kütüklerin üzerine yerleştirilmiş MEMS anahtarlarla sağlanmaktadır. İki uyumlama devresi kullanılarak tasarlanan güç bölücü ise, ayarlanabilir olduğundan, giriş gücünü, herh...
RF MEMS teknolojisi ile tek parça faz dizili anten yapisi
Topallı, Kaan; Ünlü, Mehmet; Aydın Çivi, Hatice Özlem; Demir, Şimşek; Koç, Seyit Sencer; Akın, Tayfun (null; 2006-09-06)
: Bu bildiride, RF MEMS teknolojisi ile üretilen tek parça faz dizli anten yapısının tasarımı, üretimi ve ölçüm sonuçları sunulmuştur. 15 GHz çalışma frekansında tasarlanan faz dizili anten sistemi, cam taban üzerine doğrusal şekilde dizilmiş 4 adet mikroşerit yama anten, 3-bit faz kaydırıcılar ve bütünleşik besleme ağından oluşmaktadır. ODTÜ Mikroelektronik tesislerinde geliştirilen üretim süreci ile gerçekleştirilen faz dizili antenin ana hüzmesinin 4°, 6° ve 15° derecelere döndürülebildiği görülmüştür. S...
RF MEMS Anahtarlı Ayarlanabilir Yansıtıcı Dizi Anteni
Bayraktar, Ömer; Aydın Çivi, Hatice Özlem; Akın, Tayfun (2010-08-25)
Bu bildiride huzme yönü RF MEMS anahtarlar ile ayarlanabilen, 10x10 elemanlı düzlemsel yansıtıcı dizi anteni sunulmuştur. Dizi elemanı olarak yarık bağlaşımlı mikroşerit yama anteni kullanılmıştır. Dizideki yarık bağlaşımlı mikroşerit yama antenin iletim hatlarında bulunan RF MEMS anahtarlar ile iletim hatlarının boyları değiştirilerek elektromanyetik dalganın yansıma fazı ayarlanmış ve ana huzmenin yönünün değiştirilmesi amaçlanmıştır. 26.5 GHz’de tasarlanan yansıtıcı dizi anteninde toplam 90 tane RF MEMS ...
Citation Formats
Ö. Pasin and T. Akın, “RF MEMS Yapilarinin Vakum Testi Için Pirani Gauge,” 2006, p. 386, Accessed: 00, 2021. [Online]. Available: https://hdl.handle.net/11511/84622.