RF MEMS teknolojisi ile S bandı tümleşik bant geçiren filtre yapısı

2008-10-20
Çetintepe, Çağrı
Demir, Şimşek
Akın, Tayfun
Bu çalışmada, bant-geçiren özelliğine sahip ve geçiş bandı S-frekans bandı (2-4 GHz) olarak belirlenmiş bir filtre yapısının RF MEMS teknolojisiyle oluşturulmuş toplu devre elemanları kullanılarak tasarlanması, üretimi ve ölçüm sonuçları sunulmaktadır. Elektromanyetik (EM) benzetim ve devre çözümleme araçlarıyla tasarımları yapılan mikroşerit yapıdaki sarmal irgiteç, paralel-plaka sığaç, parmaklı sığaç toplu bileşenlerini içeren ve edüzlemsel dalgakılavuzu (EDK) giriş-çıkışlarına uyarlanan filtre, ODTÜ MEMS Merkezi Tesisleri’nde üretilmiş ve yapılan ölçümlerde tasarım hedeflerinin yakalandı ı gösterilmiştir. Tek metal katmanına sahip olması nedeniyle üretim kolaylığı sağlayan ve toplu devre bileşenlerini tümleşik olarak bir araya getiren filtre yapısı, bahsedilen özellikleri açısından özgünlük taşımaktadır.
Citation Formats
Ç. Çetintepe, Ş. Demir, and T. Akın, “RF MEMS teknolojisi ile S bandı tümleşik bant geçiren filtre yapısı,” Antalya, Turkey, 2008, p. 137, Accessed: 00, 2021. [Online]. Available: https://hdl.handle.net/11511/87291.