Pul mertebesinde dikey iletim hatları içeren hermetik paketleme yöntemi

Date

2016-6-21

Author

Akın, Tayfun
Torunbalcı, Mustafa Mert

Metadata

Show full item record

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.

Item Usage Stats

269
views

1
downloads

Hermetik boşluğa kapsüllenmesi istenen ve boşluğun hermetikliğini bozmadan boşluğun dışına tekli veya çoklu elektrik uçlarını transfer etmesi gereken MEMS yapılar için gofret-katı paketleme yöntemi. Uç transferi, kapsülleme boşluğu oluşturmayla aynı üretim aşamasında kapatma substratı üzerinde biçimlendirilen dikey kesintisiz beslemeler kullanılarak gerçekleştirilir. Ayrıca söz konusu kesintisiz beslemelere ulaşmak için dikey kesintisiz beslemelerin ve kanal açıklıkların yapısı, yöntem iletken-yeniden dolum prosesiyle uyumlu olmasına rağmen, kanal açıklıkları içinde iletken yeniden doluma gerek duyulmadan geleneksel tel bağlamanın dikey kesintisiz beslemeleri dış dünyaya bağlamaya yetecek şekilde ayarlanır. Mevcut buluşa göre yöntem, ince film metaller ve alaşımlar gibi çeşitli sızdırmazlık malzemeleri kullanılarüzeyak düşük sıcaklık termo-kompresyon-bazlı bağlama/sızdırmazlık sağlama prosesleriyle uyumludur ve aynı zamanda bazı yapılandırmalarda bağlama/sızdırmazlık için herhangi bir sızdırmazlık malzemesi gerektirmeyen silikon-cam anodik veya silikon-silikon füzyon bağlama prosesleriyle de uyumludur. Bilinen MEMS depozisyonu/dağlama/bağlama prosesleri haricinde proses aşamaların sayısının azalması ve karmaşık proseslerin elimine edilmesi dayanıklılığı ve verimi artırmakta ve aynı zamanda hermetik olarak sızdırmazlığı sağlanan MEMS bileşenlerinin imalat masrafını azaltmaktadır.

URI

https://hdl.handle.net/11511/70063

Collections

Department of Electrical and Electronics Engineering, Patent / Utility Model

Suggestions

OpenMETU
Core

Concurrent operation of wireless power transfer based contactless slip ring and motor drive system with a single converter Ayaz, Enes; Keysan, Ozan; Department of Electrical and Electronics Engineering (2022-9) This thesis presents a novel approach for concurrent power transfer to wired and wireless systems using a single inverter. This proposed approach fits a cost-effective solution to wireless power transfer (WPT) systems used in contactless slip rings (CSR) applications such as sensors, radars, or wind-turbine pitch controls. In conventional systems, there are two separate converters: one is for the motor drive, and the other is for the WPT system. It is proposed that the switching harmonics of the motor drive...
Si güneş gözelerinde arttırılmış kızılötesi verimi için doğrusal olmayan plazmonik çevirici tasarımı ve üretimi Turan, Raşit; Bek, Alpan(2016) Projemiz plazmonik yapıların doğrusal olmayan özelliklerinin irdelenerek, bunların ikinci harmonik üst çevirici olarak kullanılabilmeleri için gereken tasarımların yapılması, üretim tekniklerinin geliştirilmesi ve üretilen yapılardan üst çevirim elde edilmesini kapsamaktadır. Projenin geliştirilme motivasyonu silisyum güneş gözelerinin kızılötesi dalga boyu bölgesinde soğurmasının düşük kalması ile baş edebilmek üzere üst çevirici tabaka olarak plazmonik yapıların klasik doğrusal olmayan malzemelere bir alt...
Me-Top-Avhrr Uydu Verisi Kullanılarak Etkili Kar Kaplı Alan Algoritmasının Geliştirilmesi Akyürek, Sevda Zuhal(2012-12-31) Bu çalışmada özellikle METOP-AVHRR uydu verisi kullanılarak dağlık alanlar için etkili kar kaplı alan algoritması geliştirilecektir. Uygun topoğrafik düzeltme algortiması belirlenerek METOP-AVHRR görüntüsünün topoğrafik düzeltmesi yapılıp günlük etkili kar kaplı alan ürünü gerçek zamanlı olarak tüm Türkiye için üretilecektir. Ayrıca elde edilen ürünün doğrulama çalışmaları da yapılması hedeflenmektedir. Doğrulama çalışması için otomatik bir yazılım geliştirilecektir. Gerçek zamanlı olarak geliştirilecek et...
Dynamic Modeling and Control of Underactuated Planar Bipedal Walking Sovukluk, Sait; Ankaralı, Mustafa Mert; Saranlı, Uluç; Department of Electrical and Electronics Engineering (2022-6-16) This study demonstrates an adaptive model predictive control method for input constrained control of underactuated bipedal walking with a predefined trajectory. Our approach aims to increase the trajectory tracking performance of the system and produce realistic and applicable responses while letting a certain amount of posture change around the predefined trajectory. To do so, we employ whole-body dynamics in our control structure, include weights for the unactuated joint inside the cost function, and defi...
Investigation of layout optimization for offshore wind farms and a case study for a region in Turkey Kaya, Baran; Oğuz, Elif; Department of Civil Engineering (2022-2) In this thesis, the focus was to develop an optimization tool by using mathematical layout optimization methods aiming to increase the energy capacity or reduce the cost of an offshore wind farm. For this purpose, two wind farm layout optimization (WFLO) models were developed using genetic algorithm (GA): model (a) minimizing the cost of power for variable turbine number, model (b) maximizing the power generation for fixed turbine number. Wind speed and wind direction were assumed constant. Therefore, unlik...

Citation Formats

T. Akın and M. M. Torunbalcı, “Pul mertebesinde dikey iletim hatları içeren hermetik paketleme yöntemi,” 00, 2016.