NANO AKIŞKAN GEÇİŞLİ MİKROKANALLI ISI ALICILARIN MEMS TEKNOLOJİSİ İLE ÜRETİMİ VE MİKROÇİP SOĞUTULMASINDA KULLANIMI

Date

2012-04-15

Author

Külah, Haluk
Jafari, Rahim
Koyuncuoğlu, Aziz
Okutucu Özyurt, Hanife Tuba

Metadata

Show full item record

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.

Item Usage Stats

143
views

0
downloads

Bu proje kapsamında, yüksek alan/hacim oranları sayesinde geleneksel hava soğutma yöntemlerine göre çok daha etkin soğutma sağlayan mikrokanallı ısı alıcıların mikroçip soğutulmasındaki performansları incelenmiştir. Literatürde sunulan örneklerden farklı olarak, CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor: Bütünleyici Metal Oksit Yarıiletken) entegre devre tasarım süreci ile uyumlu, özgün bir MEMS üretim tekniği kullanılarak, monolitik (tek tabanlı) bir mikrosoğutma sistemi elde edilmiştir. Bu sayede, CMOS uyumlu mikro-soğutma sistemlerinin, entegre devreleriyle birlikte üretilmesinin yolu açılmıştır. İlk test sonuçları ışığında, soğutma kapasitesini artırmak amacıyla mikrokanalların tasarımları geliştirilmiş, üretim yinelenmiştir. Soğutma deneyleri, mikrokanalların altına yerleştirilen, birim alan başına ürettiği ısı miktarları bilinen mikro ısıtıcılar ile gerçekleştirilmiştir. Soğutucu akışkan olarak öncelikle de-iyonize su kullanılmış; noktasal ısı kaynağını temsil eden devrelerden 127 W/cm2’ye, tamamı ısıtılan devrelerden 75 W/cm2’ye kadar ısı akısı sistemlerden uzaklaştırılabilmiştir. Nusselt sayısı ve sürtünme katsayısının Reynolds sayısına göre değişimi, literatürde benzer koşullar için verilen sonuçlarla uyum göstermiştir. Deneylerin son aşamasında suyun yanında, gümüş ve altın nanoparçacıklar içeren nano akışkanlar kullanılmıştır. Mekanizması tam olarak bilinmemekle birlikte, nano akışkanlar, kendilerini oluşturan temel akışkanlara oranla çok daha yüksek ısıl iletkenlikleri ve artan ısı transfer yüzey alanı sayesinde mikrokanallarla ortamdan uzaklaştırılan ısı miktarında önemli ölçüde artış sağlayabilmektedirler. Bu çalışma ile, nano akışkanların mikrokanallı ısı alıcılar ile kullanıldıklarında gösterdikleri performans da incelenmiştir.

Subject Keywords

Mikro-kanallı ısı alıcı, nano akışkan, çip soğutma, elektronik soğutma, noktasal ısınma, MEMS, CMOS uyumluluk

URI

https://hdl.handle.net/11511/95848

Collections

Department of Mechanical Engineering, Project and Design

Suggestions

OpenMETU
Core

NANOTELLER ve NANOTÜPLERLE GAZ SENSÖRLERİNİN GELİŞTİRİLMESİ Ünalan, Hüsnü Emrah; Akata Kurç, Burcu(2014-12-31) Bu projede çinko oksit nanoteller ve karbon nanotüpler kullanılarak gaz sensörleri üretilecek ve performansları karbon monoksit gazı altında sistematik olarak incelenecektir.
GÜMÜŞ NANOTEL TEMELLİ ESNEK ŞEFFAF ISITICI ÜRETİMİ Ünalan, Hüsnü Emrah(2017-12-31) Projede gümüş nanoteller esnek altlıklar üzerine kaplanacak ve uygulanan akım altında ısınma davranışları sistematik olarak incelenecektir.
Protein kafeslerine hapsedilmiş paramanyetik ultra küçük gadolinyum oksit nanoparçacıklarının sitotoksisitesi Eke, Binay; Volkan, Mürvet; Güray, Nülüfer Tülün(2017) Bu projenin amacı tedavi edici ve görüntülemeye uygun kimyasalların tek bir nanoparçacıkta birleştirilmesi ile kanser tedavisini eş zamanlı takip etmeye uygun bir platform hazırlamak ve hazırlanan bu nanoparçacığın in vivo kullanımı nedeniyle hücre içindeki toksikolojik karakterizasyonunu gerçekleştirmektir. Bu amaca yönelik olarak MRI, nükleer (SPECT) ve CT yöntemlerine uygun, biyouyumlu, ferritin kafes içine yerleştirilmiş gadolinyum oksit nanoparçacıkları hazırlanmıştır. Daha sonra parçacıkların yüzeyi ...
DEVELOPMENT OF SMALL SIZE UNCOOLED INFRARED MICROBOLOMETER PIXEL Tekin, Baran utku; Akın, Tayfun; Turan, Raşit; Department of Micro and Nanotechnology (2021-9) This thesis reports the development of 12 µm pixel pitch single layer microbolometer structures for use in the 8-12 µm wavelength regions, following recent trends in the last decade in microbolometers. Various pixel structures are designed, simulated, fabricated, and characterized to obtain acceptable detector performance in these small pixels. The pixel structures are improved by reducing the pixel thermal conductance and by using planar type electrode structures where the active material is selected as V...
NADİR TOPRAK ELEMENTİ İÇERMEYEN MANYETİK NANOTOZLARDAN 3-BOYUTLU YAZICI İLE POLİMER MATRİSLİ MIKNATIS ÜRETİMİ Kalay, Yunus Eren(2015-12-31) Başvurusu yapılan proje kapsamında nadir-toprak elementi içermeyen manyetik nanotozların polimer bazlı matrislerle karıştırılarak, nihai ürünün 3 boyutlu yazıcı ile üretilmesini içermektedir. Bu bağlamda, önerilen projenin ana temasını bölümüzde gerçekleştirdiğimiz önceki çalışmalarımızda geliştirdiğimiz Al-Ni-Co ve Mn-Al bazlı manyetik toz alaşımların ürüne dönüştürmesine yönelik çalışmaları oluşturmaktadır. Çeşitli geometriklerde üretilen nanokompozitlerin manyetik özelliklerinin iyileştirilmesi ile elekt...

Citation Formats

H. Külah, R. Jafari, A. Koyuncuoğlu, and H. T. Okutucu Özyurt, “NANO AKIŞKAN GEÇİŞLİ MİKROKANALLI ISI ALICILARIN MEMS TEKNOLOJİSİ İLE ÜRETİMİ VE MİKROÇİP SOĞUTULMASINDA KULLANIMI,” 2012. Accessed: 00, 2022. [Online]. Available: https://hdl.handle.net/11511/95848.