Foto ve termal kapasitans teknikleriyle silisyum ince filmlerin yerel durumlarının belirlenmesi

Download

TXpFeU5UVT0.pdf

Date

1993

Author

Katırcıoğlu, Bayram
Atılgan, İsmail
Özder, Serhat

Metadata

Show full item record

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.

Item Usage Stats

103
views

73
downloads

Işıyan boşalım sistemi, gerekli bütün yan çevre birimleriyle birlikte kuruldu; ayarlanıp, fosfor katkılı hidrojenlenmiş amorf silisyum (n-türü a-Si:H) ince film büyütülmesi için kalibre edildi. Bu doğrultuda, elektron demeti ve iyon çığlama (sputtering) düzenekleri kuruldu ve krom (Cr), paladyum (Pd) gibi parlak metallerin buharlaştınlabilmesi için ayarlandı. Yukarıda sözü edilen düzenekler kullanılarak fosfor katkılanmış a-Si:H filmler üzerine Pd ve Cr Schottky engelleri üretildi. Bu diyodlar I-V ve C-V gibi yaygın ölçümlerle belirlendi. Issız bölge admittansl frekans, sıcaklık, voltaj gibi parametreler işlevinde çözümlendi. C-$\omega$-T, DLTS gibi ısıl uyarmalı sığa tabanlı teknikler, yerelleşmiş düzeylerin belirlenmesinde başarıyla- uygulandı. Ayrıca çift demet fotokapasitans düzeneği kuruldu ve katkılanmış a-Si:H filmlerin band aralığında yerelleşmiş derin düzey dağılımının çıkarılmasında kullanıldı.

Subject Keywords

Malzeme Bilimleri, Kaplamalar ve Filmler, Mühendislik, Kimya

URI

https://app.trdizin.gov.tr/publication/project/detail/TXpFeU5UVT0
https://hdl.handle.net/11511/50101

Collections

Department of Chemical Engineering, Project and Design

Suggestions

OpenMETU
Core

Ferroelektrik seramik ince filmler Özenbaş, Ahmet Macit(1998) Bu çalışmada ferroelektrik özellikli $Pb(Zr,Ti)O_3$ filmler ve tozlar sol-jel yöntemi kullanılarak elde edilmiştir. Tozlar sulu çözeltiden homojen çökeltme, filmler ise çökelme öncesi daldırma yöntemi kullanılarak üreli ortamda hazırlanmışlardır. Altlık malzemesi olarak platin kaplanmış Si-(111) dilimleri, Si dilimleri ve $\alpha-Al_2O_3$ kullanılmıştır. Filmlerin ve tozların karakterizasyon işlemleri için öncelikle XRD ve SEM/EDS kullanılmıştır. Parça boyutu, morfolojisi ve film yüzeyleri SEM çalışmalan il...
Elektro-eğirme Yöntemi Kullanılarak Üretilen Naylon-6/Haloysit Nanotüp Nanofiberlerinin Çoklu Fonksiyonel Özelliklerinin Geliştirilmesi Bayram, Göknur(2018) Elektro-eğirme yöntemi günümüz teknolojisinin geliştirilmesinde önemli potansiyele sahip olanyüksek boy/çap oranındaki nanofiberlerinin üretiminde kullanılan oldukça verimli biryöntemdir. Üretilen fiberlerin nano boyutta olması ve yapıya eklenen katkı malzemesi ile nanodüzeyde etkileşime geçmesi kompozit nanofiberlerinin gelecek vaat eden konulardan biriolmasını sağlamaktadır.Bu çalışmada elektro-eğirme yönteminde kullanılan proses parametrelerinin optimize edilerekdüzgün Naylon-6 (PA6) nanofiber üretiminin...
Lazer Kristalizasyon Yöntemi ile Yüksek Verimli İnce Film Kristal Si Güneş Gözesi Geliştirilmesi Turan, Raşit; Bek, Alpan; Toffoli, Hande(2018) Gerçeklestirdigimiz projede silisyum tabanlı polikristal-amorf silisyum ince film günes gözesiüretimine özellesmis bir lazerle kristalizasyon platformunun sanayi-üniversite isbirligisayesinde gelistirilmesi saglanmıstır. Yola çıkıs hedeflerimiz bu teknoloji ve üniversitearastırma olanakları kullanılarak ince film silisyum günes gözesi üretilebileceginin gösterilmesive üretim yöntem basamaklarının ortaya konmasıdır. Günümüz fotovoltaik piyasasındaki enbüyük pazar payı yaklasık %90 ile kristal silisyum (c-Si)...
Mikrobolometre Tipi Sogutmasız Kızılötesi Dedektör Dizinlerine Uygun Silisyum Disk Seviyesinde Vakum Paketleme Yöntemlerinin Gelistirilmesi Özenbaş, Ahmet Macit; Kalay, Yunus Eren(2018) Özellikle savunma sanayinde yogun ihtiyaç duyulan sogutmasız kızılötesi dedektörlerin yurtiçinde, ulusal imkânlarla özgün olarak tasarlanması, özgün üretim süreçlerinin gelistirilmesi veüretilmesi büyük önem arz etmektedir. Sogutmasız kızılötesi detektörlerden yüksekperformans elde etmedeki en önemli etkenlerden biri dedektörlerin vakum ortamındaçalıstırılmasıdır. Dolayısıyla, MEMS tabanlı sogutmasız kızılötesi dedektörlerin ürünedönüsmesindeki en son adım olan paketleme konusu daha da önem kazanmaktadır.Pa...
Ksilanaz enziminin ekstraksiyon ile ayrıştırılması: Ekstraksiyon parametrelerinin incelenerek sürecin optimizasyonu Bakır, Ufuk(2003) Bu çalışmanın amacı, değişik mikroorganizmalardan elde edilen ksilanazlann, polietilen glikol (PEG) ve potasyum fosfattan oluşan sulu iki faz sistemi kullanarak fermantasyon ortamından ekstrakte edilmesi (özütlenmesi)dir. Özütleme işleminin optimizasyonu sıcaklık, polimer konsantrasyonu ve moleküler ağırlığı, tuz çeşidi, ortamın iyonik gerilimi ve sistemin pH'ı gibi parametrelerin etkileri araştırılarak yapılmıştır. Elde edilen sonuçlar, Bacillus ksilanazalannın üst faza yoğunlaşarak ve kısmen saflaştığını...

Citation Formats

B. Katırcıoğlu, İ. Atılgan, and S. Özder, “Foto ve termal kapasitans teknikleriyle silisyum ince filmlerin yerel durumlarının belirlenmesi,” 1993. Accessed: 00, 2020. [Online]. Available: https://app.trdizin.gov.tr/publication/project/detail/TXpFeU5UVT0.