Mikrobolometre Tipi Sogutmasız Kızılötesi Dedektör Dizinlerine Uygun Silisyum Disk Seviyesinde Vakum Paketleme Yöntemlerinin Gelistirilmesi

Download
2018
Özellikle savunma sanayinde yogun ihtiyaç duyulan sogutmasız kızılötesi dedektörlerin yurtiçinde, ulusal imkânlarla özgün olarak tasarlanması, özgün üretim süreçlerinin gelistirilmesi veüretilmesi büyük önem arz etmektedir. Sogutmasız kızılötesi detektörlerden yüksekperformans elde etmedeki en önemli etkenlerden biri dedektörlerin vakum ortamındaçalıstırılmasıdır. Dolayısıyla, MEMS tabanlı sogutmasız kızılötesi dedektörlerin ürünedönüsmesindeki en son adım olan paketleme konusu daha da önem kazanmaktadır.Paketleme dedektör seviyesinde tek tek yapılabildigi gibi silisyum disk seviyesinde deyapılabilir. Yürütülen proje kapsamında sogutmasız kızılötesi dedektörler için vakumpaketleme süreçlerinde kullanılabilecek, dedektör üretim süreçleriyle ve dedektörlerinüretildigi CMOS tabanlarla uyumlu bir paketleme yöntemi gelistirilmesi ve yöntemin yine projekapsamında üretilmis olan sogutmasız kızılötesi detektörlere disk seviyesinde uygulanmasıhedeflenmistir. Bu kapsamda vakum paketleme yönteminin gelistirilmesi için Au-Sn ve Au-Simalzeme sistemleriyle yapılan denemeler sonucunda, Au-Sn malzeme sistemiyle geçici sıvıfaz baglama (TLP) methodunun dedektör üretim süreçleri ve dedektör performansı açısındanavantajlı olduguna karar verilerek bu yönteme yogunlasılarak bir baglama methodugelistirilmistir. Baglama methodu gelistirme süreçleri kapsamında baglama hatlarının metalkatmanlarının kimyasal kompozisyon, kaplama yöntemleri, baglama sıcaklıgı ve basıncıaltında metaller arası etkilesim bakımından TLP baglama methoduna uygun olarakideallestirilmesi gerçeklestirilmistir. Ideallestirme çalısmaları sırasında baglaması yapılanörneklere yapısal incelemeler optik, akustik (SAM) ve elektron mikroskobu (SEM/TEM) ilekimyasal ve faz incelemeleri EDX ve XRD yöntemleriyle, mekanik incelemer ise kesmedayanımı testi yöntemiyle gerçeklestirilmistir. Yapılan ideallestirme ve inceleme çalısmalarısonucunda, Au-Sn malzeme sistemiyle TLP metoduna uygun olarak deneme örnekleriüstünde gelistirilen baglama yöntemi görece düsük sıcaklıkta (300-320°C) baglamayısaglayıp, baglama sonrası yüksek sıcaklıklara (500°C'den fazla) dayanım imkânı ve mekanikolarak askeri standartlara uygun bir kesme dayanımı (6 MPa'dan fazla) göstermektedir.Ayrıca yöntem bolometre yapılarının performansına kötü yönde etki etmemektedir. Denemeörnekleri üzerinde MIL-STD 883 standartına uygun olarak yapılan He kaçak testlerinde 1x10-9 atm.cc/s?den daha büyük kaçaklar tespit edilememistir. Baglama yöntemi, projekapsamında üretimi gerçeklestirilen VOx tabanlı 25?m adım aralıklı 384x288 formata sahipsogutmasız detektörlere disk seviyesinde tek sefer uygulanmıstır. Uygulama ile ilgili tümsüreç yasanan problemlerin detayları ile birlikte ayrıntılı olarak anlatılmıstır.

Suggestions

Metal Hidrürle Eşleştirilmiş Katı Oksit Hücreler İçin Arayüzey Kontrollü Malzemelerin Geliştirilmesi
Öztürk, Tayfur; Kalay, Yunus Eren(2017)
Bu çalışma orta sıcaklık katı oksit yakıt pilleri için arayüzey kontrollü katod malzemesigeliştirmeyi konu almaktadır. Çalişma (La,Sr)CoO3/(La,Sr)2CoO4 ?kısa anlatımla(LSC113/LSC214)- iki fazlı sisteme odaklanmakta ve bu sistemde farklı fazlar arasıarayüzeylerin oksijen indirgeme reaksiyonunu hızlandıracağı düşüncesinden hareketleçalışma sıcaklığını 600oC düzeylerien düşürebilecek katod kompozisyon ve yapılarınıbelirlenmeyi amaçlamaktadır. Farklı yöntemlerle ele alınan çalışmada önce iki fazlı yapı teksolüs...
Kauçuk türü Malzemeler için İnelastik Yırtılma ve Kavitasyon modeli Geliştirilmesi
Dal, Hüsnü(2018)
Kauçuk türü malzemeler esnek mekanik davranışları ve üstün enerji sönümleme özelliklerinedeniyle otomotiv, havacılık ve inşaat sektöründe yaygın kullanıma sahiptir. Kauçuğuninelastik davranışı ve kompleks deformasyonlar altındaki dayanım ve yırtılma özelliklerininkuramsal ve sayısal olarak modellenmesi, bu malzemenin tasarım aşamasında kritik biröneme sahiptir. Bu bağlamda mevcut kuramlar henüz kalitatif ve kantitatif kesinlikte sonuçvermemektedir Bu durum kauçuk türü malzemelerin dayanım ve yırtılma özelli...
Mikro-Plakların Modelleme ve Analizi İçin Yeni Yöntemler
Dağ, Serkan; Ciğeroğlu, Ender(2016)
Bu araştırma projesinin temel amacı mekanik veya termal yükleme altındaki mikro-plaklarınanalizi için yeni yöntemler ortaya koymaktır. Malzemelerin makro-ölçekte mekanik analiziniyapmakta kullanılan teoriler mikro-ölçekte geçerli değildir. Bunun nedeni uzunluk ölçeğiküçüldükçe etkisi artış gösteren boyut etkisidir. Mikro-ölçekli yapıların analizi için gerinimgradayanı elastisite teorisi ve modifiye edilmiş kuvvet çifti gerilmesi teorisi gibi yüksekdereceden sürekli ortam teorileri geliştirilmiştir. Teknik l...
Lazer Kristalizasyon Yöntemi ile Yüksek Verimli İnce Film Kristal Si Güneş Gözesi Geliştirilmesi
Turan, Raşit; Bek, Alpan; Toffoli, Hande(2018)
Gerçeklestirdigimiz projede silisyum tabanlı polikristal-amorf silisyum ince film günes gözesiüretimine özellesmis bir lazerle kristalizasyon platformunun sanayi-üniversite isbirligisayesinde gelistirilmesi saglanmıstır. Yola çıkıs hedeflerimiz bu teknoloji ve üniversitearastırma olanakları kullanılarak ince film silisyum günes gözesi üretilebileceginin gösterilmesive üretim yöntem basamaklarının ortaya konmasıdır. Günümüz fotovoltaik piyasasındaki enbüyük pazar payı yaklasık %90 ile kristal silisyum (c-Si)...
Karbon Nanotüplerle Süperkapasitörlerin Geliştirilmesi
Ünalan, Hüsnü Emrah; Durucan, Caner; Çırpan, Ali(2017)
Karbon nanotüplerin (KNT’ lerin) metallere yakın iletkenlikleri, yüksek yüzey alanları ve fonksiyonelleştirilebilir yüzey morfolojisine sahip olmaları süperkapasitör elektrotu olarak kullanılmalarının itici gücüdür. Ancak, KNT esaslı süperkapasitörlerin, metal oksit ve iletken polimerlere göre daha düşük enerji depolama kapasitesine sahip olduğunu belirtmiştir. Öte yandan metal oksitler ve iletken polimerler üzerine yapılan çalışmalar metal oksitlerin düşük iletkenliğini ve iletken polimerlerin mekanik daya...
Citation Formats
A. M. Özenbaş and Y. E. Kalay, “Mikrobolometre Tipi Sogutmasız Kızılötesi Dedektör Dizinlerine Uygun Silisyum Disk Seviyesinde Vakum Paketleme Yöntemlerinin Gelistirilmesi,” 2018. Accessed: 00, 2020. [Online]. Available: https://app.trdizin.gov.tr/publication/project/detail/TVRnNU1UYzM.