NANOGÖZENEKLİ TİTANYUMSİLİKAT İNCE FİLMLERİNDEN NEM SENSÖRÜ YAPIMININ ARAŞTIRILMASI

2017-12-31
Akata Kurç, Burcu
Çam, İbrahim
Davoudnezhad, Ramona
Nem sensörleri endüstriyel prosesler ve çevresel kontrol uygulamalarında yaygın bir şekilde kullanılmaktadır. Bu uygulama alanları arasında, yarı-iletken teknolojisinden silikon devre levhalarının (silicon wafer) oluşturulması sırasında nem seviyelerinin sürekli olarak ölçüm gerekliliği verilebilir. Endüstride nem sensörleri kimyasal gaz arıtmada, kurutma makinelerinde, fırın, film kurutmalarında, kağıt üretimi ve tekstil sektöründe ve gıda proseslerinde nem kontrolünü sağlayabilmek için kullanılmaktadır. Nem sensörlerine olan yoğun ilgi ve talebin yanısıra, her sektörün talep ettiği işletim koşulları farklı olduğundan, nem sensörlerinin elde edilmesinde kullanılan seramik, polimer gibi neme duyarlı farklı malzemelerin çalışma prensipleri de farklılık göstermektedir. Teklif edilen proje kapsamında, titanyumsilikat bazlı ve nanogözenekli Engelhard Titanyum Silikat (ETS-10) ince filmlerinden ilk defa olarak nem sensörü geliştirilecektir. Seramik sensörleriyle karşılaştırıldığında; yenilenme prosesi gerektirmeyen ve daha ucuza üretilebilen; polimerik nem sensörleriyle karşılaştırıldığında ise, sınırlı çalışma sıcaklık aralığı limitleri olmayan, uzun dönem dayanıklılık gösterememe, yavaş tepki süreleri ve histerezis gösterme gibi problemlerin tamamının ortadan kaldırıldığı bir prototip nem sensörünün elde edilmesi amaçlanmaktadır.
Citation Formats
B. Akata Kurç, İ. Çam, and R. Davoudnezhad, “NANOGÖZENEKLİ TİTANYUMSİLİKAT İNCE FİLMLERİNDEN NEM SENSÖRÜ YAPIMININ ARAŞTIRILMASI,” 2017. Accessed: 00, 2020. [Online]. Available: https://hdl.handle.net/11511/61379.