Mikro Elekro Mekanik Sistemler MEMS Üretim Teknikleri

Date

2003-09-06

Author

Kaplan, Halit
Dölen, Melik

Metadata

Show full item record

Item Usage Stats

185
views

0
downloads

URI

https://hdl.handle.net/11511/75602

Collections

Unverified, Conference / Seminar

Suggestions

OpenMETU
Core

Mikro Elekro Mekanik Sistemler MEMS Mikro Akışkan Uygulamaları Kaplan, Halit; Dölen, Melik (2003-09-06)
Mikro Elektro Mekanik Sistemler Üretim Teknikleri II Kaplan, Halit; Dölen, Melik; Dur, Osman (2004-12-01)
Mikro Elektro Mekanik Sistemler Üretim Teknikleri I Kaplan, Halit; Dölen, Melik; Dur, Osman (2004-11-01) Bu makale yeni bir araştırma dalı olan mikro-elektro-mekanik sistem teknolojilerini tanıtmayı hedeflemektedir. Makalede, yüzey/gövde mikro-işleme, elektro-erozyon, lazerle işleme ve yüksek derinlik oranlarına sahip mikro yapıların üretiminde kullanılan LIGA teknikleri gibi başlıca mikro-üretim yöntemleri kısaca ele alınıp, karşılaştırmalı olarak tanıtılacaktır. Bu üretim teknikleriyle yapılmış silisyum tabanlı mikro-duyucu ("micro-sensors") ve mikro eyleyicilere ("micro-actuators") çeşitli örnekler verilece...
Mikro Elekro Mekanik Sistemlerin Tasarım ve Ölçeklendirme İlkeleri Dölen, Melik (2005-05-01) Bu makale, mikro-elektro-mekanik sistemlerin tasarımda (büyük ölçekli sistemlerden farklı olarak) öne çıkan önemli ilkeler üzerinde durulmaktadır. Buna göre, mikro sistemlerin makro sistemlere göre bazı avantajlarından kısaca bahsedilerek, mikro sistemlerin tasarını sırasında göz önünde bulundurulması gereken faktörlere değinilecektir. Ayrıca, mikro ve makro sistemlerde öne çıkan farklı fiziksel büyüklükler ve tasarımcının takip edeceği tasarım akış yolu ve tasarım için kullanılabilecek bazı sayısal araçlar...
Mikro Elektro Mekanik Sistemler MEMS ve Silisyum Mikroisleme Teknikleri Akın, Tayfun (null; 1997-08-31)

Citation Formats

H. Kaplan and M. Dölen, “Mikro Elekro Mekanik Sistemler MEMS Üretim Teknikleri,” 2003, vol. 2, Accessed: 00, 2021. [Online]. Available: https://hdl.handle.net/11511/75602.