Mikro Elekro Mekanik Sistemlerin Tasarım ve Ölçeklendirme İlkeleri

Date

2005-05-01

Author

Dölen, Melik

Metadata

Show full item record

Item Usage Stats

206
views

0
downloads

Bu makale, mikro-elektro-mekanik sistemlerin tasarımda (büyük ölçekli sistemlerden farklı olarak) öne çıkan önemli ilkeler üzerinde durulmaktadır. Buna göre, mikro sistemlerin makro sistemlere göre bazı avantajlarından kısaca bahsedilerek, mikro sistemlerin tasarını sırasında göz önünde bulundurulması gereken faktörlere değinilecektir. Ayrıca, mikro ve makro sistemlerde öne çıkan farklı fiziksel büyüklükler ve tasarımcının takip edeceği tasarım akış yolu ve tasarım için kullanılabilecek bazı sayısal araçlara da bu makalede yer verilmektedir.

Subject Keywords

mikro-elektro-mekanik sistemler

URI

https://hdl.handle.net/11511/80848

Journal

Makina İmalat ve Tasarım Dergisi

Collections

Department of Mechanical Engineering, Article

Suggestions

OpenMETU
Core

MikroElektroMekanik Sistemler (MEMS) Genel bir Tanıtım Dölen, Melik (2002-05-01) Bu makale yeni bir araştırma dalı olan mikro-elektro-mekanik sistem teknolojilerini tanıtmayı hedeflemektedir. Makalede, yüzey/gövde mikro-işleme, elektro-erozyon, lazerle işleme ve yüksek derinlik oranlarına sahip mikro yapıların üretiminde kullanılan LIGA teknikleri gibi başlıca mikro-üretim yöntemleri kısaca ele alınıp, karşılaştırmalı olarak tanıtılacaktır. Bu üretim teknikleriyle yapılmış silisyum tabanlı mikro-duyucu ("micro-sensors") ve mikro eyleyicilere ("micro-actuators") çeşitli örnekler verilece...
Mikro Elektro Mekanik Sistemler Üretim Teknikleri I Kaplan, Halit; Dölen, Melik; Dur, Osman (2004-11-01) Bu makale yeni bir araştırma dalı olan mikro-elektro-mekanik sistem teknolojilerini tanıtmayı hedeflemektedir. Makalede, yüzey/gövde mikro-işleme, elektro-erozyon, lazerle işleme ve yüksek derinlik oranlarına sahip mikro yapıların üretiminde kullanılan LIGA teknikleri gibi başlıca mikro-üretim yöntemleri kısaca ele alınıp, karşılaştırmalı olarak tanıtılacaktır. Bu üretim teknikleriyle yapılmış silisyum tabanlı mikro-duyucu ("micro-sensors") ve mikro eyleyicilere ("micro-actuators") çeşitli örnekler verilece...
Mikroyapıların Mekanik Davranışlarının Sonlu Elemanlar Analizi ile İncelenmesi Özerinç, Sezer; Pınar, Abdullah Çağlar; Nigar, Bariş; Turan, Ecem; Ergül, Kaan(2017-12-31) Mikroyapılı malzemeler, örneğin nanokristalli metaller, nanokatmanlı kompozitler ve ince filmler, yüksek akma dayanımları ve aşınmaya olan dirençleri nedeniyle mühendislik uygulamaları için büyük gelecek vaat etmektedirler. Ayrıca mikroyapılardan oluşan mikro elektro-mekanik sistemler de ivme sensörleri başta olmak üzere birçok uygulamada yaygın olarak kullanılmaktadırlar. Tek fazlı malzemeler de üretim tekniklerine bağlı olarak mikro-ölçekte bazı özellikler gösterebilirler, örneğin 3 boyutlu yazıcı ürünü p...
Elektronik Soğutma Sistemleri İçin Difüzyonla Bağlama Yöntemiyle Malzeme Üretimi ve Karakterizasyonu Durucan, Caner(2015-12-31) Gelişmekte olan teknolojik sistemlerde/cihazlarda elektronik soğutma sistemlerinin özellikle maliyet açısından önem teşkil etmesi ve bu alanda yeterli verimliliğe sahip malzemelerin üretilememiş olması, yapılan çalışmaların bilimsel anlamda gelişmesini gerektirmiştir. Önerilmekte olan çalışma kapsamında, elektronik soğutma sistemlerinin düşük maliyetli ve etkili bir yapısal malzeme olarak üretilmesi amaçlanmaktadır. Bu çalışmada, son yıllarda özellikle iletim ile soğutma yapan sistemlerde kullanılmakta olan...
Calculation of the Macroeconomic Carbon Rebound Effect of the European Union Emission Trading System Bolat, Cankut Kaan; Akınoğlu, Bülent Gültekin; Soytaş, Uğur; Department of Earth System Science (2022-11-15) Emission trading systems are currently the most popular market–based instruments in the combat against climate change. The European Union Emission Trading System is the world's oldest and most mature ETS application. Having announced its net zero targets in February 2022, it is on Türkiye’s agenda to implement an ETS application to meet the country’s net zero targets. While there is rich literature showing the benefits of ETS applications from different perspectives, very few studies question their efficien...

Citation Formats

M. Dölen, “Mikro Elekro Mekanik Sistemlerin Tasarım ve Ölçeklendirme İlkeleri,” Makina İmalat ve Tasarım Dergisi, pp. 1–10, 2005, Accessed: 00, 2021. [Online]. Available: https://hdl.handle.net/11511/80848.