Mikro Elektro Mekanik Sistemler Üretim Teknikleri II

Date

2004-12-01

Author

Kaplan, Halit
Dölen, Melik
Dur, Osman

Metadata

Show full item record

Item Usage Stats

136
views

0
downloads

URI

https://hdl.handle.net/11511/76853

Journal

Endüstri Otomasyon Dergisi

Collections

Unverified, Article

Suggestions

OpenMETU
Core

Mikro Elektro Mekanik Sistemler Üretim Teknikleri I Kaplan, Halit; Dölen, Melik; Dur, Osman (2004-11-01) Bu makale yeni bir araştırma dalı olan mikro-elektro-mekanik sistem teknolojilerini tanıtmayı hedeflemektedir. Makalede, yüzey/gövde mikro-işleme, elektro-erozyon, lazerle işleme ve yüksek derinlik oranlarına sahip mikro yapıların üretiminde kullanılan LIGA teknikleri gibi başlıca mikro-üretim yöntemleri kısaca ele alınıp, karşılaştırmalı olarak tanıtılacaktır. Bu üretim teknikleriyle yapılmış silisyum tabanlı mikro-duyucu ("micro-sensors") ve mikro eyleyicilere ("micro-actuators") çeşitli örnekler verilece...
Mikro Elekro Mekanik Sistemler MEMS Üretim Teknikleri Kaplan, Halit; Dölen, Melik (2003-09-06)
Mikro Elektro Mekanik Sistemler MEMS ve Silisyum Mikroisleme Teknikleri Akın, Tayfun (null; 1997-08-31)
Mikro Elekro Mekanik Sistemlerin Tasarım ve Ölçeklendirme İlkeleri Dölen, Melik (2005-05-01) Bu makale, mikro-elektro-mekanik sistemlerin tasarımda (büyük ölçekli sistemlerden farklı olarak) öne çıkan önemli ilkeler üzerinde durulmaktadır. Buna göre, mikro sistemlerin makro sistemlere göre bazı avantajlarından kısaca bahsedilerek, mikro sistemlerin tasarını sırasında göz önünde bulundurulması gereken faktörlere değinilecektir. Ayrıca, mikro ve makro sistemlerde öne çıkan farklı fiziksel büyüklükler ve tasarımcının takip edeceği tasarım akış yolu ve tasarım için kullanılabilecek bazı sayısal araçlar...
Mikro Elekro Mekanik Sistemler MEMS Mikro Akışkan Uygulamaları Kaplan, Halit; Dölen, Melik (2003-09-06)

Citation Formats

H. Kaplan, M. Dölen, and O. Dur, “Mikro Elektro Mekanik Sistemler Üretim Teknikleri II,” Endüstri Otomasyon Dergisi, pp. 46–54, 2004, Accessed: 00, 2021. [Online]. Available: https://hdl.handle.net/11511/76853.