Mikro Elektro Mekanik Sistemler MEMS ve Silisyum Mikroisleme Teknikleri

Date

1997-08-31

Author

Akın, Tayfun

Metadata

Show full item record

Item Usage Stats

165
views

0
downloads

URI

https://hdl.handle.net/11511/82963

Conference Name

Elektrik-Elektronik-Bilgisayar Muhendisligi 7. Ulusal Kongresi, 31 Ağustos - 06 Eylül 1997

Collections

Department of Electrical and Electronics Engineering, Conference / Seminar

Suggestions

OpenMETU
Core

Mikro Elekro Mekanik Sistemler MEMS Mikro Akışkan Uygulamaları Kaplan, Halit; Dölen, Melik (2003-09-06)
Mikro Elekro Mekanik Sistemler MEMS Üretim Teknikleri Kaplan, Halit; Dölen, Melik (2003-09-06)
Mikro Elektro Mekanik Sistemler Üretim Teknikleri II Kaplan, Halit; Dölen, Melik; Dur, Osman (2004-12-01)
Mikro Elektro Mekanik Sistemler Üretim Teknikleri I Kaplan, Halit; Dölen, Melik; Dur, Osman (2004-11-01) Bu makale yeni bir araştırma dalı olan mikro-elektro-mekanik sistem teknolojilerini tanıtmayı hedeflemektedir. Makalede, yüzey/gövde mikro-işleme, elektro-erozyon, lazerle işleme ve yüksek derinlik oranlarına sahip mikro yapıların üretiminde kullanılan LIGA teknikleri gibi başlıca mikro-üretim yöntemleri kısaca ele alınıp, karşılaştırmalı olarak tanıtılacaktır. Bu üretim teknikleriyle yapılmış silisyum tabanlı mikro-duyucu ("micro-sensors") ve mikro eyleyicilere ("micro-actuators") çeşitli örnekler verilece...
Mikro-yüzey yapılı magnezyum- tabanlı biyo- uyumlu ve biyo-emilebilen implant tasarım imalat ve test edilmesi Evis, Zafer; Koç, Muammer; Tezcaner, Ayşen; Tahmasebifar, Aydin; Kayhan, Said Murat(2015-02-01)

Citation Formats

T. Akın, “Mikro Elektro Mekanik Sistemler MEMS ve Silisyum Mikroisleme Teknikleri,” presented at the Elektrik-Elektronik-Bilgisayar Muhendisligi 7. Ulusal Kongresi, 31 Ağustos - 06 Eylül 1997, 1997, Accessed: 00, 2021. [Online]. Available: https://hdl.handle.net/11511/82963.