Mikro Elektro Mekanik Sistemler Üretim Teknikleri I

Date

2004-11-01

Author

Kaplan, Halit
Dölen, Melik
Dur, Osman

Metadata

Show full item record

Item Usage Stats

407
views

0
downloads

Bu makale yeni bir araştırma dalı olan mikro-elektro-mekanik sistem teknolojilerini tanıtmayı hedeflemektedir. Makalede, yüzey/gövde mikro-işleme, elektro-erozyon, lazerle işleme ve yüksek derinlik oranlarına sahip mikro yapıların üretiminde kullanılan LIGA teknikleri gibi başlıca mikro-üretim yöntemleri kısaca ele alınıp, karşılaştırmalı olarak tanıtılacaktır. Bu üretim teknikleriyle yapılmış silisyum tabanlı mikro-duyucu ("micro-sensors") ve mikro eyleyicilere ("micro-actuators") çeşitli örnekler verilecektir. Bu makalede ayrıca mikro-mekanik sistemlerin (dizgelerin) tasarlanmasında kullanılan ölçeklendirme kanunları ele alınacaktır.

Subject Keywords

mikro-elektro-mekanik sistemler, Mikro-işleme, Elektro-erozyon

URI

https://hdl.handle.net/11511/80442
https://dergipark.org.tr/tr/pub/matim/issue/37333/431873

Journal

Endüstri Otomasyon Dergisi

Collections

Department of Mechanical Engineering, Article

Suggestions

OpenMETU
Core

MikroElektroMekanik Sistemler (MEMS) Genel bir Tanıtım Dölen, Melik (2002-05-01) Bu makale yeni bir araştırma dalı olan mikro-elektro-mekanik sistem teknolojilerini tanıtmayı hedeflemektedir. Makalede, yüzey/gövde mikro-işleme, elektro-erozyon, lazerle işleme ve yüksek derinlik oranlarına sahip mikro yapıların üretiminde kullanılan LIGA teknikleri gibi başlıca mikro-üretim yöntemleri kısaca ele alınıp, karşılaştırmalı olarak tanıtılacaktır. Bu üretim teknikleriyle yapılmış silisyum tabanlı mikro-duyucu ("micro-sensors") ve mikro eyleyicilere ("micro-actuators") çeşitli örnekler verilece...
Mikro Elekro Mekanik Sistemlerin Tasarım ve Ölçeklendirme İlkeleri Dölen, Melik (2005-05-01) Bu makale, mikro-elektro-mekanik sistemlerin tasarımda (büyük ölçekli sistemlerden farklı olarak) öne çıkan önemli ilkeler üzerinde durulmaktadır. Buna göre, mikro sistemlerin makro sistemlere göre bazı avantajlarından kısaca bahsedilerek, mikro sistemlerin tasarını sırasında göz önünde bulundurulması gereken faktörlere değinilecektir. Ayrıca, mikro ve makro sistemlerde öne çıkan farklı fiziksel büyüklükler ve tasarımcının takip edeceği tasarım akış yolu ve tasarım için kullanılabilecek bazı sayısal araçlar...
Calculation of the Macroeconomic Carbon Rebound Effect of the European Union Emission Trading System Bolat, Cankut Kaan; Akınoğlu, Bülent Gültekin; Soytaş, Uğur; Department of Earth System Science (2022-11-15) Emission trading systems are currently the most popular market–based instruments in the combat against climate change. The European Union Emission Trading System is the world's oldest and most mature ETS application. Having announced its net zero targets in February 2022, it is on Türkiye’s agenda to implement an ETS application to meet the country’s net zero targets. While there is rich literature showing the benefits of ETS applications from different perspectives, very few studies question their efficien...
Mikroyapıların Mekanik Davranışlarının Sonlu Elemanlar Analizi ile İncelenmesi Özerinç, Sezer; Pınar, Abdullah Çağlar; Nigar, Bariş; Turan, Ecem; Ergül, Kaan(2017-12-31) Mikroyapılı malzemeler, örneğin nanokristalli metaller, nanokatmanlı kompozitler ve ince filmler, yüksek akma dayanımları ve aşınmaya olan dirençleri nedeniyle mühendislik uygulamaları için büyük gelecek vaat etmektedirler. Ayrıca mikroyapılardan oluşan mikro elektro-mekanik sistemler de ivme sensörleri başta olmak üzere birçok uygulamada yaygın olarak kullanılmaktadırlar. Tek fazlı malzemeler de üretim tekniklerine bağlı olarak mikro-ölçekte bazı özellikler gösterebilirler, örneğin 3 boyutlu yazıcı ürünü p...
Mikro-Plakların Modelleme ve Analizi İçin Yeni Yöntemler Dağ, Serkan; Ciğeroğlu, Ender(2016) Bu araştırma projesinin temel amacı mekanik veya termal yükleme altındaki mikro-plaklarınanalizi için yeni yöntemler ortaya koymaktır. Malzemelerin makro-ölçekte mekanik analiziniyapmakta kullanılan teoriler mikro-ölçekte geçerli değildir. Bunun nedeni uzunluk ölçeğiküçüldükçe etkisi artış gösteren boyut etkisidir. Mikro-ölçekli yapıların analizi için gerinimgradayanı elastisite teorisi ve modifiye edilmiş kuvvet çifti gerilmesi teorisi gibi yüksekdereceden sürekli ortam teorileri geliştirilmiştir. Teknik l...

Citation Formats

H. Kaplan, M. Dölen, and O. Dur, “Mikro Elektro Mekanik Sistemler Üretim Teknikleri I,” Endüstri Otomasyon Dergisi, pp. 18–19, 2004, Accessed: 00, 2021. [Online]. Available: https://hdl.handle.net/11511/80442.