RF MEMS Tekonolojisi ile Kapasitif ve Metal Metal Baglantili Paralel Anahtar Yapilari

2006-09-06
Atasoy, Halil İbrahim
Topallı, Kaan
Ünlü, Mehmet
İstanbulluoğlu, İpek
Engin Ufuk, Temoçin
Ömer, Bayraktar
Demir, Şimşek
Aydın Çivi, Hatice Özlem
Koç, Seyit Sencer
Akın, Tayfun
Bu çalışmada, RF MEMS teknolojisiyle üretilen iki adet paralel anahtar yapısı sunulmaktadır. Bunlardan birincisi endüktans uyumlamalı, kapasitif bağlantılı anahtar olup getirdiği yüksek aşağı durum kapasitansı ve endüktansı ile X-bant frekansları içerisinde yüksek yalıtım elde etmeye imkan vermektedir. İkinci tip MEMS anahtar ise metal-metal bağlantılı paralel anahtar olup sağladığı DC bağlantı hem düşük kayıplı anahtarlamaya izin vermekte, hem de köprülerin anahtarlama voltajlarının RF karakteristiği bozulmadan ayarlanmasını sağlamaktadır. Anahtar yapıları ODTÜ Mikroelektronik Tesisleri’nde geliştirilen yüzey mikroişleme teknolojileriyle üretilip, ölçümleri tamamlanmıştır. Yapılan ölçüm sonuçlarına göre kapasitif bağlantılı anahtarın 11-17 GHz, metal-metal bağlantılı anahtarın da 1-6 GHz frekansları arasında 20 dB’den daha iyi yalıtım sağladığı gözlenmiştir.
National URSI Symposium Turkey

Suggestions

RF MEMS Teknolojisi ile Ayarlanabilir Empedans Uyumlama ve Güç Bölücü Devreleri
Ünlü, Mehmet; Sağkol, Hüseyin; Topallı, Kaan; Aydın Çivi, Hatice Özlem; Demir, Şimşek; Koç, Seyit Sencer; Akın, Tayfun (2002-09-18)
Bu çalışmada RF MEMS teknolojisi kullanılarak gerçekleştirilen ayarlanabilir empedans uyumlama ve güç bölücü devrelerinin tasarımı ve üretimi sunulmaktadır. Ayarlanabilir empedans uyumlama devresi üç kütüklü (triple stub) uyumlama teorisi üzerine tasarlanmıştır. Kütüklerin boylarını değiştirilebilmesi ve gerekli geçirileri ekleyebilmesi kütüklerin üzerine yerleştirilmiş MEMS anahtarlarla sağlanmaktadır. İki uyumlama devresi kullanılarak tasarlanan güç bölücü ise, ayarlanabilir olduğundan, giriş gücünü, herh...
RF MEMS Teknolojisi ile Ayarlanabilir Empedans Uyumlama Devresi
Ünlü, Mehmet; Topallı, Kaan; Demir, Şimşek; Aydın Çivi, Hatice Özlem; Koç, Seyit Sencer; Akın, Tayfun (2006-09-06)
Bu çalışmada RF MEMS teknolojisi kullanılarak gerçekleştirilen ayarlanabilir empedans uyumlama ve güç bölücü devrelerinin tasarımı ve üretimi sunulmaktadır. Ayarlanabilir empedans uyumlama devresi üç kütüklü (triple stub) uyumlama teorisi üzerine tasarlanmıştır. Kütüklerin boylarını değiştirilebilmesi ve gerekli geçirileri ekleyebilmesi kütüklerin üzerine yerleştirilmiş MEMS anahtarlarla sağlanmaktadır. İki uyumlama devresi kullanılarak tasarlanan güç bölücü ise, ayarlanabilir olduğundan, giriş gücünü, herh...
RF MEMS Anahtarlı Ayarlanabilir Yansıtıcı Dizi Anteni
Bayraktar, Ömer; Aydın Çivi, Hatice Özlem; Akın, Tayfun (2010-08-25)
Bu bildiride huzme yönü RF MEMS anahtarlar ile ayarlanabilen, 10x10 elemanlı düzlemsel yansıtıcı dizi anteni sunulmuştur. Dizi elemanı olarak yarık bağlaşımlı mikroşerit yama anteni kullanılmıştır. Dizideki yarık bağlaşımlı mikroşerit yama antenin iletim hatlarında bulunan RF MEMS anahtarlar ile iletim hatlarının boyları değiştirilerek elektromanyetik dalganın yansıma fazı ayarlanmış ve ana huzmenin yönünün değiştirilmesi amaçlanmıştır. 26.5 GHz’de tasarlanan yansıtıcı dizi anteninde toplam 90 tane RF MEMS ...
RF MEMS Kapasitörler ile Rezonans Frekansi Ayarlanabilen Antenler
Erdil, Evren; Topallı, Kaan; Ünlü, Mehmet; Aydın Çivi, Hatice Özlem; Akın, Tayfun (2006-09-06)
Bu bildiride, MEMS teknolojisi ile üretilen rezonans frekansı ayarlanabilir dikdörtgensel yarık ve mikroşerit yama anten yapıları sunulmuştur. İki yapıda da RF MEMS kapasitörler elektrostatik kuvvetle hareketlendirilerek yapıların eşdeğer sığaları değiştirilmiş ve rezonans frekansları ayarlanabilmiştir. Benzetim ve ölçüm sonuçlarına göre her iki yapı için rezonans frekansında 1 GHz’e yakın kaymalar elde edilmiştir.
RF MEMS teknolojisi ile yansıtıcı dizi anteni tasarımı
Bayraktar, Ömer; Topallı, Kaan; Ünlü, Mehmet; İstanbulluoğlu, İpek; Engin Ufuk, Temoçin; Atasoy, Halil İbrahim; Demir, Şimşek; Aydın Çivi, Hatice Özlem; Koç, Seyit Sencer; Akın, Tayfun (null; 2006-09-06)
Bu bildiride RF MEMS teknolojisi kullanılarak tasarlanmış, hüzme yönü ayarlanabilir bir yansıtıcı dizi anten tasarımı sunulmaktadır. İki katmandan oluşan yansıtıcı dizi antenin üstteki birinci katmanı yama antenleri taşımakta, aşağı bakan ikinci katmanı ise hüzme yönünü ayarlamakta kullanılan mikroşerit hatlar ve MEMS anahtarları taşımaktadır. Bu iki katman, aralarında bulunan yarık ile birbirine bağlanmıştır. Tasarımda yüzeye dik olarak gelen elektromanyetik dalganın yansıma açısı, anten dizisindeki herbir...
Citation Formats
H. İ. Atasoy et al., “RF MEMS Tekonolojisi ile Kapasitif ve Metal Metal Baglantili Paralel Anahtar Yapilari,” presented at the National URSI Symposium Turkey, 2006, Accessed: 00, 2021. [Online]. Available: https://hdl.handle.net/11511/79491.