Show/Hide Menu
Hide/Show Apps
Logout
Türkçe
Türkçe
Search
Search
Login
Login
OpenMETU
OpenMETU
About
About
Open Science Policy
Open Science Policy
Open Access Guideline
Open Access Guideline
Postgraduate Thesis Guideline
Postgraduate Thesis Guideline
Communities & Collections
Communities & Collections
Help
Help
Frequently Asked Questions
Frequently Asked Questions
Guides
Guides
Thesis submission
Thesis submission
MS without thesis term project submission
MS without thesis term project submission
Publication submission with DOI
Publication submission with DOI
Publication submission
Publication submission
Supporting Information
Supporting Information
General Information
General Information
Copyright, Embargo and License
Copyright, Embargo and License
Contact us
Contact us
Nems Ve Mems Mikroyapılar Için Yüksek Mertebe Davranıs Modeli Gelistirilmesi
Date
2020-09-01
Author
Dal, Hüsnü
Ünlü, Mehmet
Metadata
Show full item record
This work is licensed under a
Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License
.
Item Usage Stats
259
views
0
downloads
Cite This
Mikroelektromekanik sistemler (MEMS) ve nanoelektromekanik sistemler (NEMS) yasadıgımız çagdas dünyanın vazgeçilmez bir unsuru olmuslardır, ve kullanım alanları göz önüne alındıgında, sahip oldukları önem gittikçe artmaktadır. Gün geçtikçe boyut olarak daha küçük, ömür olarak daha dayanıklı olarak üretilmesi gereken bu sistemlerin karakteristik boyutu nanometre ölçegine yaklasmaktadır. Mikrometre ve nanometre ölçek boyutlarında, klasik katı mekanigine dayalı kiris, plaka vb. teorileri geçerliligini yitirmekte, malzemenin esneklik modülü, dayanım, vb. birçok elastik parametresini degistiren boyut etkisi söz konusu olmaktadır ? örnegin genel prensip olarak, bu seviyelerdeki küçük olan yapılar, makro ölçekteki yapılara göre daha güçlüdür. Bu etki Hall-Petch etkisi olarak bilinmektedir. Dolayısıyla küçülen ve karakteristik boyutu tane büyüklügü mertebesine yaklasan MEMS ve NEMS yapıların elastik davranısını açıklamak için yüksek mertebe teorilerin kullanılması gerekliligi ortaya çıkmaktadır. Bu projede MEMS ve NEMS?lerde en çok kullanılan malzemelerden birisi olan altın için, ilgili kapsamda yapılan deney sonuçları dikkate alınarak, boyut etkisini dikkate alarak elastik davranısı daha dogru, tam ve eksiksiz olarak modelleyen yüksek mertebe sürekli ortam (continuum) teorileri ve bunlara baglı olarak bir sonlu elemanlar kodu gelistirilmistir. Ilgili çalısmalar yardımıyla altın malzemeden yapılmıs bir MEMS/NEMS anahtar yapısı da gelistirilmistir. Daha önce literatürde NEMS ve MEMS yapılar boyut etkisini tasarım asamasında dikkate alan bir çalısma gerçeklestirilmemis olup bu çalısma, niteligi itibariyle bir ilktir. Bu amaca ulasmak için tanecik boyutu ve karakteristik boyutu degisken parametreler olarak seçilerek, çesitli altın mikroyapılar üzerinde bükme testleri gerçeklestirilmistir. Daha sonra elde edilen sonuçların, son zamanlarda dogrulugu kanıtlanmıs yüksek mertebe teorilerinden olan gerinim gradyantı (strain gradient) ve eslenik gerilme (couple stress) teorileri için uyumlulugu arastırılmıs, ilgili gerinin gradyanı teorisi kullanılarak altın için boyut parametresi ve elastik parametreler bulunmustur. Ilgili sonuçlar, proje kapsamında gene literatürde bir ilk olarak gelistirilmis olan yüksek mertebe sonlu plak elemanlar kodu ile dogrulanmıstır. Yukarıda da bahsedildigi gibi yüksek mertebe sürekli ortam teorileri, altın mikroyapılar için ilk defa arastırılmıs ve deneyler yardımıyla dogrulama çalısmaları yapılmıstır. Bu çalısmalar, klasik elastisite kuramına ek olarak malzeme modeline giren ölçek boyut sabitlerinin de elde edilmesini saglamıstır. Gelistirilmis olan matematiksel model ve sonlu elemanlar kodu, altın malzemesinin mikron seviyesindeki elastik davranısını yüksek mertebe sürekli ortam teorileriyle inceleyen ilk çalısma olmustur. Ayrıca ilgili çalısmalar sonunda ortaya çıkan anahtar yapısı, yüksek mertebe modellerine dayanması itibariyle de bir ilktir. Bu nedenle, ilgili projenin bilimsel ve teknolojik olarak yüksek bir özgün degere sahip oldugu düsünülmektedir. Gelistirilecek olan hesaplamalı (sonlu elemanlar analizi yoluyla) modeller altın mikroyapıların yanısıra kristal yapılı malzemelerden üretilen MEMS ve NEMS?lerin tasarım asamalarını büyük ölçüde iyilestirecektir. Tasarımcılar ihtiyaçları dogrultusunda bu tip MEMS ve NEMS?lerin boyut ve dayanım özelliklerini eniyileyebilieceklerdir. Ayrıca elastik ve plastik etkiler içeren üretim asamaları daha verimli ve etkin hale gelebilecektir.
Subject Keywords
altın (au) mikroyapılar
,
mems
,
nems
,
rf-mems anahtarları
,
mikroplaklar
,
yüksek mertebe katı mekanigi
URI
https://hdl.handle.net/11511/95903
Collections
Department of Mechanical Engineering, Project and Design
Suggestions
OpenMETU
Core
Evaluation of site effects based on the 1999 Kocaeli and Düzce earthquake events and seismic microzonation of Gölyaka, Düzce, Turkey
YOUSEFI BAVIL, KARIM; Akgün, Haluk; Koçkar, Mustafa Kerem; Department of Geological Engineering (2022-2)
The high seismicity study area situated in a near-fault region in Gölyaka, Düzce, makes the determination of the bedrock geometry more complex, and hence, it makes this area very challenging in terms of a site response study that would aid a seismic hazard assessment. This study developed a basin model to evaluate the site effects in the tectonically controlled and formed Plio-Quaternary fluvial sediments of the Gölyaka region that uniquely falls within the bifurcated near-field fault section of the North A...
Mikroyapıların Mekanik Davranışlarının Sonlu Elemanlar Analizi ile İncelenmesi
Özerinç, Sezer; Pınar, Abdullah Çağlar; Nigar, Bariş; Turan, Ecem; Ergül, Kaan(2017-12-31)
Mikroyapılı malzemeler, örneğin nanokristalli metaller, nanokatmanlı kompozitler ve ince filmler, yüksek akma dayanımları ve aşınmaya olan dirençleri nedeniyle mühendislik uygulamaları için büyük gelecek vaat etmektedirler. Ayrıca mikroyapılardan oluşan mikro elektro-mekanik sistemler de ivme sensörleri başta olmak üzere birçok uygulamada yaygın olarak kullanılmaktadırlar. Tek fazlı malzemeler de üretim tekniklerine bağlı olarak mikro-ölçekte bazı özellikler gösterebilirler, örneğin 3 boyutlu yazıcı ürünü p...
Ph duyarlı polisebasik anhidrit bazlı nanokürelerin ilaç taşıyıcı sistem olarak hazırlanması
Fam, Bagheri Shahla; Hasırcı, Nesrin; Hasırcı, Vasıf Nejat(2012)
Son yıllarda, özellikle kanser hastalığında teşhis ve tedavi amaçlı kullanılmak üzere, nano boyutta çeşitli organik ve inorganik sistemlerin geliştirilmesi büyük önem kazanmıştır ve bu konuda yoğun araştırmalar yapılmaktadır. Farmasötik açıdan bakıldığında, ideal bir ilaç taşıyıcı, küçük parçacık boyutunda ve yüksek ilaç yüklenme kapasitesinde olmalı, kanda uzun süre dolaşabilme özelliği göstermeli, biyobozunur olmalı ve bozunduğu kimyasallar olumsuz yan etki göstermeden vü...
Sensör Uygulamaları İçin THz Metamalzeme Yapıların Geliştirilmesi
Altan, Hakan; Yıldırım, İhsan Ozan; Nebioğlu, Mehmet Ali; Akkaya, Merve; Alkuş, Ümit(2017-12-31)
Terahertz teknolojisinde metamalzemeler, doğal malzemelerden elde edilemeyen elektromanyetik özellikler gösterdiği ve istenen fonksiyonellikte tasarlanabildiğinden, yapay optik elemanların tasarımında önemli bir yere sahiptir. Son yıllarda elektromanyetik spektrumunun farklı frekanslarında çeşitli uygulamalar için metamalzeme alanında çok fazla araştırma yapılmış ve bu çalışmalar büyük ilgi görmüştür. Metamalzemeler geometrik olarak ölçeklendirilebilirler ve böylece radyo, mikrodalga, milimetre-dalga, uzak...
Aktif filtreler için devre elemanı değerlerinin karınca koloni algoritması kullanarak seçimi
Kalınlı, Adem (2003-06-01)
Analog elektronik devrelerin tasarımında, maliyetler nedeniyle, ayrık pasif eleman değerlerini belirli değerlerde üretilmiş standart serilerdeki elemanlardan belirlemek yaygın uygulamadır. Orijinal tasarımda ortaya çıkan değerler çoğunlukla, standart seri değerleri ile tam olarak örtüşmemektedir ve geleneksel tasarımcılar en yakın değerli elemanları seçmektedir. Bu durum bir tasarım sapmasına neden olmaktadır. Genelde standart seri elemanlarının oluşturduğu tüm uzayda daha iyi bir çözüm seti var olacaktır. ...
Citation Formats
IEEE
ACM
APA
CHICAGO
MLA
BibTeX
H. Dal and M. Ünlü, “Nems Ve Mems Mikroyapılar Için Yüksek Mertebe Davranıs Modeli Gelistirilmesi,” 2020. Accessed: 00, 2022. [Online]. Available: https://hdl.handle.net/11511/95903.