MEMS teknolojisi ile RF devre elemanları geliştirilmesi

Download
2005
Koç, Seyit Sencer
Topallı, Kağan
İstanbulloğlu, İpek
Erdil, Emre
Onat, Sinan
Akın, Tayfun
Aydın Çivi, Hatice Özlem
Demir, Şimşek
Ünlü, Mehmet
RF MEMS (Radyo Frekansı Mikro-Elektro-Mekanik Sistemleri) elemanları, mikrodalga frekanslarda çalışan devrelerde kullanılmak üzere fotolitografik işlemlerle üretilen elemanlardır. Bu elemanlar, ucuz, düşük güç harcayan, hafif ve küçük sistemler geliştirilmesine olanak vermektedir. RF uygulamalar için, kapalı olduğunda düşük araya sokma yitimine sahip ve açık olduğunda yüksek izolasyon sağlayan mikro mekanik anahtarlar, faz kaydırıcılar, empedans uyumlama devreleri ya da faz dizili antenler bu teknoloji ile üretilebilmektedir. RF MEMS'in bu özellikleri ve kritik alanlardaki uygulamaları sebebi ile, MEMS teknolojisiyle RF devre elemanları geliştirmek üzere, Orta Doğu Teknik Üniversitesindeki (ODTÜ) Mikrodalga Grubu ve MEMS grubu ortak bir çalışma başlatmıştır. Ortak çalışma, RF MEMS konusunda bir bilgi birikimi oluşturmak için geniş bir literatür taraması ile başlamıştır. Edinilen bilgiler ışığında yeni RF MEMS yapıları tasarlanmış ve bu yapıların teorik olarak çalıştıkları HFSS ve MEMCAD yazılımları kullanılarak gösterilmiştir. Bu raporda ODTÜ'de TÜBİTAK desteğiyle gerçekleştirilmiş 101E023 numaralı "MEMS Teknolojisi ile RF Devre Elemanlarının Geliştirilmesi" projesi kapsamında yapılan işler anlatılmaktadır. ODTÜ Mikroelektronik Tesisleri'nde gerçekleştirilen üretim süreçleri, yapılan benzetimlerin sonuçları, ve tüm bunlar ile tasarlanan, üretilen ve test edilen anahtarlar, faz kaydırıcılar, empedans uyumlama devreler ve faz dizili antenler bu raporun kapsadığı konulardır.
Citation Formats
S. S. Koç et al., “MEMS teknolojisi ile RF devre elemanları geliştirilmesi,” 2005. Accessed: 00, 2020. [Online]. Available: https://app.trdizin.gov.tr/publication/project/detail/TmpNNE5UVT0.