MEMS teknolojisi ile RF devre elemanları geliştirilmesi

Download

TmpNNE5UVT0.pdf

Date

2005

Author

Topallı, Kağan
Koç, Seyit Sencer
İstanbulloğlu, İpek
Erdil, Emre
Onat, Sinan
Akın, Tayfun
Aydın Çivi, Hatice Özlem
Ünlü, Mehmet
Demir, Şimşek

Metadata

Show full item record

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.

Item Usage Stats

21
views

32
downloads

RF MEMS (Radyo Frekansı Mikro-Elektro-Mekanik Sistemleri) elemanları, mikrodalga frekanslarda çalışan devrelerde kullanılmak üzere fotolitografik işlemlerle üretilen elemanlardır. Bu elemanlar, ucuz, düşük güç harcayan, hafif ve küçük sistemler geliştirilmesine olanak vermektedir. RF uygulamalar için, kapalı olduğunda düşük araya sokma yitimine sahip ve açık olduğunda yüksek izolasyon sağlayan mikro mekanik anahtarlar, faz kaydırıcılar, empedans uyumlama devreleri ya da faz dizili antenler bu teknoloji ile üretilebilmektedir. RF MEMS'in bu özellikleri ve kritik alanlardaki uygulamaları sebebi ile, MEMS teknolojisiyle RF devre elemanları geliştirmek üzere, Orta Doğu Teknik Üniversitesindeki (ODTÜ) Mikrodalga Grubu ve MEMS grubu ortak bir çalışma başlatmıştır. Ortak çalışma, RF MEMS konusunda bir bilgi birikimi oluşturmak için geniş bir literatür taraması ile başlamıştır. Edinilen bilgiler ışığında yeni RF MEMS yapıları tasarlanmış ve bu yapıların teorik olarak çalıştıkları HFSS ve MEMCAD yazılımları kullanılarak gösterilmiştir. Bu raporda ODTÜ'de TÜBİTAK desteğiyle gerçekleştirilmiş 101E023 numaralı "MEMS Teknolojisi ile RF Devre Elemanlarının Geliştirilmesi" projesi kapsamında yapılan işler anlatılmaktadır. ODTÜ Mikroelektronik Tesisleri'nde gerçekleştirilen üretim süreçleri, yapılan benzetimlerin sonuçları, ve tüm bunlar ile tasarlanan, üretilen ve test edilen anahtarlar, faz kaydırıcılar, empedans uyumlama devreler ve faz dizili antenler bu raporun kapsadığı konulardır.

URI

https://app.trdizin.gov.tr/publication/project/detail/TmpNNE5UVT0
https://hdl.handle.net/11511/49438

Collections

Department of Electrical and Electronics Engineering, Project and Design

Suggestions

OpenMETU
Core

MEMS kapasitif ultrasonik çevirgeçlerin sonlu elemanlar yöntemi yardımıyla tasarımı ve simulasyonunun yapılması Bayram, Barış(2016-12-31) Genel olarak MEMS cihazlarının özel olarak ise kapasitif ultrasonik çevirgeçlerin tasarım ve üretim aşamaları arasında yer alan sonlu elemanlar yöntemiyle simulasyon işlemi, en verimli tasarıma en ekonomik yoldan ulaşmak açısından büyük önem teşkil etmektedir. Projede MEMS kapasitif ultrasonik çevirgeçlerin tasarımının ve simulasyonunun bilgisayar ortamında yapılıp, üretime ve deneme yanılma metoduna gerek kalmadan kullanılacağı alana göre optimum tasarımın oluşturulacağı bir metod önerilmektedir. Bu metodd...
DEEP LEARNING AIDED PARAMETRIC CHANNEL COVARIANCE MATRIX ESTIMATION FOR MILLIMETER WAVE HYBRID MASSIVE MIMO Esen, Özbay; Güvensen, Gökhan Muzaffer; Department of Electrical and Electronics Engineering (2021-9-09) Millimeter-wave (mmWave) channels, which occupy frequency ranges much higher than those being used in previous wireless communications systems, are utilized to meet the increased throughput requirements that come with 5G communications. The high levels of attenuation experienced by electromagnetic waves in these frequencies causes MIMO channels to have high spatial correlation. To attain desirable error performances, systems require knowledge about the channel correlations. In this thesis, a deep neural net...
MEMS Tabanlı Lazer Tarayıcı Azgın, Kıvanç; Kaya, Onurcan(2017-12-31) LIDAR (Light Detection and Ranging), laser ışını ile noktanın mesafesinin ölçüldüğü bir yöntemdir. Bu ölçüm belirli bir aralıktaki noktalar için tekrarlanırsa, ortamın derinlik fotoğrafı elde edilebilir. Literatürde, insansız kara ve hava araçlarında, haritalama ve konumlama için kullanılan bir çok LIDAR algılayıcısı vardır.Bu algılayıcıların özellikle insansız hava araçlarında kullanımı yaygınlaştıkça, daha küçük ve daha hafif LIDAR algılayıcılarına olan ihtiyaç artmıştır. Bu yüzden, LIDAR algılayıcıların ...
MEMS jiroskopun g-duyarlılığının bastırılmasına yönelik yöntem Gavcar, Hasan Doğan; Azgın, Kıvanç; Akın, Tayfun (Türk Patent Enstitüsü, 2020-11-23) Buluş, kapalı döngü geri besleme devresi (2) yardımı ile jiroskopun hareketli algılama yapısını harici ivmelerden bağımsız olarak sabit tutarak MEMS jiroskopunun (1) g-duyarlılığının bastırılması için bir yöntem sağlamakla ilgilidir.
Kristal yüzeylerinin taramalı tünelleme mikroskobu ile ultra yüksek vakum koşullarında incelenmesi Ellialtıoğlu, Recai; Oral, Ahmet(1993-04-01) Bir ultra yüksek vakum örnek hazırlama ve analiz odası tasarımlandı ve imal edilmek üzere yurt dışına ısmarlandı, ve sonra taramalı tünelleme mikroskobu ve düşü enerjili elektron kırınımı teknikleri yardımıyla ultra yüksek vakum (UHV) koşullarında temiz yarıiletken yüzeylerin incelenmesi için bir sisteme monte edildi. UHV uyumlu STM'nun tasarımı, imali ve testi yapıldı. Bu tasarımda kaba yaklaştırma için piezo kaydırak ile tarama için ayrık elektrotlu piezo tüp kullamhniş olup vakum altında uç ve örnek deği...

Citation Formats

K. Topallı et al., “MEMS teknolojisi ile RF devre elemanları geliştirilmesi,” 2005. Accessed: 00, 2020. [Online]. Available: https://app.trdizin.gov.tr/publication/project/detail/TmpNNE5UVT0.