Date

2016-12-31

Author

Bayram, Barış

Metadata

Show full item record

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.

Item Usage Stats

430
views

0
downloads

Cite This

Genel olarak MEMS cihazlarının özel olarak ise kapasitif ultrasonik çevirgeçlerin tasarım ve üretim aşamaları arasında yer alan sonlu elemanlar yöntemiyle simulasyon işlemi, en verimli tasarıma en ekonomik yoldan ulaşmak açısından büyük önem teşkil etmektedir. Projede MEMS kapasitif ultrasonik çevirgeçlerin tasarımının ve simulasyonunun bilgisayar ortamında yapılıp, üretime ve deneme yanılma metoduna gerek kalmadan kullanılacağı alana göre optimum tasarımın oluşturulacağı bir metod önerilmektedir. Bu metodda maskeler ve üretim aşamaları IntelliSuite programlarında tanımlanıp, tasarımı her basamakta denetleyerek, üretimde sorunsuz kullanılabilecek bir tasarım oluşturulacaktır. Bu tasarım üzerinde sonlu elemanlar yöntemi yardımıyla simulasyonlar çalıştırılacak, ortam özellikleri de bu simulasyonlarda göz önünde bulundurulacaktır. Ortamın sıcaklığı, basıncı, ortamdaki materyal gibi özelliklere ek olarak “squeezed film damping” ve “spring softening” gibi fiziksel olaylar da hesaplamalara katılacaktır. Böylece simulasyon sonuçları gerçek ölçümlere daha fazla yaklaşarak farklı tiplerde ve boyutlarda çok sayıda deneme amaçlı çevirgeç üretimine gerek kalmamış olacaktır. Projemizde simulasyon bulguları esas alınarak tekrar optimizasyon ve tasarım sürecine geçilerek, simulasyondan alınan geri dönütün kullanılması sağlanacaktır. Bu sayede proje sonunda kaynak tüketimi minimumda tutularak, üretime en uygun tasarım hazırlanmış olacaktır.

Subject Keywords

Biyomedikal, Elektrik-Elektronik Mühendisliği ve Teknolojisi, Havacılık Mühendisliği ve Teknolojisi, Makina Mühendisliği ve Teknolojisi

URI

https://hdl.handle.net/11511/58974

Collections

Department of Electrical and Electronics Engineering, Project and Design