Silisyum tabanlı ışık yayınlayan yapıların üretilmesi

Date

2001

Author

Atılgan, İsmail
Katırcıoğlu, Bayram
Özdemir, Orhan
Akaoğlu, Barış
Bazkır, Özcan
Sezer, Oben
Sel, Kıvanç

Metadata

Show full item record

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.

Item Usage Stats

10
views

15
downloads

Cite This

ODTÜ Fizik bölümü Katıhal Elektronik Laboratuvarı'nda (KEL) bulunan plazma destekli kimyasal buhar biriktirme düzeneğinde (PECVD), çeşitli tabanlar üzerine a-SiCx:H filmler büyütülerek kızıl altı soğurma (FTIR), görünür bölge optik soğurma ve özdirenç ölçümleriyle hem yasak enerji, hem de yapısal düzen yönünden film büyütme koşullan belirlenmiştir. Arkasından n ve p türü kaplama süreçleri de düzenli bir biçimde ele alınarak başarılmıştır. Son olarak, p-i-n yapılar oluşturularak yayınlanan ışık kaydedilip, dalga boyu dağılımı çıkarılmıştır.

URI

https://app.trdizin.gov.tr/publication/project/detail/TXpVeU5EUT0
https://hdl.handle.net/11511/49452

Collections

Department of Physics, Project and Design