Silisyum tabanlı ışık yayınlayan yapıların üretilmesi

Download
2001
Atılgan, İsmail
Katırcıoğlu, Bayram
Özdemir, Orhan
Akaoğlu, Barış
Bazkır, Özcan
Sezer, Oben
Sel, Kıvanç
ODTÜ Fizik bölümü Katıhal Elektronik Laboratuvarı'nda (KEL) bulunan plazma destekli kimyasal buhar biriktirme düzeneğinde (PECVD), çeşitli tabanlar üzerine a-SiCx:H filmler büyütülerek kızıl altı soğurma (FTIR), görünür bölge optik soğurma ve özdirenç ölçümleriyle hem yasak enerji, hem de yapısal düzen yönünden film büyütme koşullan belirlenmiştir. Arkasından n ve p türü kaplama süreçleri de düzenli bir biçimde ele alınarak başarılmıştır. Son olarak, p-i-n yapılar oluşturularak yayınlanan ışık kaydedilip, dalga boyu dağılımı çıkarılmıştır.
Citation Formats
İ. Atılgan et al., “Silisyum tabanlı ışık yayınlayan yapıların üretilmesi,” 2001. Accessed: 00, 2020. [Online]. Available: https://app.trdizin.gov.tr/publication/project/detail/TXpVeU5EUT0.