Donor-akseptör türde fonksiyonlu monomerlerden ışık, elektron demedi ve x ışınlarına duyarlı polimer rezistlerin tasarımı

Download
1995
Akovalı, Güneri
Yürek, Hüseyin
Kibarer, Günay
Rızaev, M.o.
Çok hassas mikro rezistlere yol açan özel-ince polimer kaplamaların moleküler tasarımı ile pozitif ve negatif polimerler sentezinin, kompleks radikalik ve plazma yöntemleri kullanılarak ve fonksiyonlu monomerlerden çıkarak "çok fonksiyonlu polimer rezistler" olarak, eldesi çalışmaları sistematik olarak yapılmakta;, ilgili kinetik-termodinamik değerlendirmeler ile yeni nesil ışık-elektron demedi ile x ışınlarına duyarlı rezist tasarımı yapılmaktadır.
Citation Formats
G. Akovalı, H. Yürek, G. Kibarer, and M. o. Rızaev, “Donor-akseptör türde fonksiyonlu monomerlerden ışık, elektron demedi ve x ışınlarına duyarlı polimer rezistlerin tasarımı,” 1995. Accessed: 00, 2020. [Online]. Available: https://app.trdizin.gov.tr/publication/project/detail/TXpJM05UVT0.