Donor-akseptör türde fonksiyonlu monomerlerden ışık, elektron demedi ve x ışınlarına duyarlı polimer rezistlerin tasarımı

Date

1995

Author

Akovalı, Güneri
Yürek, Hüseyin
Kibarer, Günay
Rızaev, M.o.

Metadata

Show full item record

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.

Item Usage Stats

6
views

6
downloads

Cite This

Çok hassas mikro rezistlere yol açan özel-ince polimer kaplamaların moleküler tasarımı ile pozitif ve negatif polimerler sentezinin, kompleks radikalik ve plazma yöntemleri kullanılarak ve fonksiyonlu monomerlerden çıkarak "çok fonksiyonlu polimer rezistler" olarak, eldesi çalışmaları sistematik olarak yapılmakta;, ilgili kinetik-termodinamik değerlendirmeler ile yeni nesil ışık-elektron demedi ile x ışınlarına duyarlı rezist tasarımı yapılmaktadır.

URI

https://app.trdizin.gov.tr/publication/project/detail/TXpJM05UVT0
https://hdl.handle.net/11511/49609

Collections

Department of Chemistry, Project and Design