Fiber optik MEMS mikrofonların tasarımı ve karakterizasyonu

2018-12-31
Bayram, Barış
Özmen, Göktuğ Cihan
Ses dalgalarını elektriksel sinyallere çeviren aletler olan mikrofonlar MEMS teknolojisiyle geliştirilmektedir. MEMS mikrofonlar ivmelenmeye dayanıklılığı, düşük enerji tüketimi, uzun süreli kararlı performansı, yüksek duyarlılığı ve küçük boyutları ile taşınabilir teknolojilerde kullanım için ideal duruma gelmiştir. MEMS fiber optik mikrofonlar elektromanyetik etkilere dayanıklı olmaları, çok az kayıplı fiber optik kablolar ile sinyallerin kilometrelerce uzağa taşınabilmesi, yüksek sıcaklık değerlerinde çalışabilmeleri ile dağıtık sensör ağlarında ve tehlikeli endüstriyel ortamlarda kullanılmaktadır. Üretilecek olan MEMS aygıtı, optik fiber kablo ucu yapısı ile entegre edilecektir. Fiber optik kablodan gelen lazer ışının bir kısmı membranından Fabry-Perot girişimi oluşturarak geri yansıyacak ve fiber optik girişimsel hareket sensörüne gidecektir. Bu sayede yüksek transfer faktörlü ve dinamik tepki aralıklı ayarlanabilir MEMS fiber optik mikrofon cihazları elde edilecektir. Önerilen projenin amacı, MEMS temelli fiber optik mikrofon geliştirilmesi ve karakterizasyonudur. Proje kapsamındaki çalışmalarla lazer ile ölçüm gerçekleştiren MEMS aygıtların geliştirilmesine yönelik ulusal ve uluslararası projelerin hazırlanması, geliştirilen MEMS mikrofon tasarımlarının ve ekonomik mikroüretim süreçlerinin yeni nesil MEMS aygıtların geliştirilmesini hızlandırması ve ülkemizin bu teknolojiyle refaha çıkması amaçlanmaktadır.
Citation Formats
B. Bayram and G. C. Özmen, “Fiber optik MEMS mikrofonların tasarımı ve karakterizasyonu,” 2018. Accessed: 00, 2020. [Online]. Available: https://hdl.handle.net/11511/58984.