Fiber optik MEMS mikrofonların tasarımı ve karakterizasyonu

Date

2018-12-31

Author

Bayram, Barış
Özmen, Göktuğ Cihan

Metadata

Show full item record

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.

Item Usage Stats

19
views

0
downloads

Ses dalgalarını elektriksel sinyallere çeviren aletler olan mikrofonlar MEMS teknolojisiyle geliştirilmektedir. MEMS mikrofonlar ivmelenmeye dayanıklılığı, düşük enerji tüketimi, uzun süreli kararlı performansı, yüksek duyarlılığı ve küçük boyutları ile taşınabilir teknolojilerde kullanım için ideal duruma gelmiştir. MEMS fiber optik mikrofonlar elektromanyetik etkilere dayanıklı olmaları, çok az kayıplı fiber optik kablolar ile sinyallerin kilometrelerce uzağa taşınabilmesi, yüksek sıcaklık değerlerinde çalışabilmeleri ile dağıtık sensör ağlarında ve tehlikeli endüstriyel ortamlarda kullanılmaktadır. Üretilecek olan MEMS aygıtı, optik fiber kablo ucu yapısı ile entegre edilecektir. Fiber optik kablodan gelen lazer ışının bir kısmı membranından Fabry-Perot girişimi oluşturarak geri yansıyacak ve fiber optik girişimsel hareket sensörüne gidecektir. Bu sayede yüksek transfer faktörlü ve dinamik tepki aralıklı ayarlanabilir MEMS fiber optik mikrofon cihazları elde edilecektir. Önerilen projenin amacı, MEMS temelli fiber optik mikrofon geliştirilmesi ve karakterizasyonudur. Proje kapsamındaki çalışmalarla lazer ile ölçüm gerçekleştiren MEMS aygıtların geliştirilmesine yönelik ulusal ve uluslararası projelerin hazırlanması, geliştirilen MEMS mikrofon tasarımlarının ve ekonomik mikroüretim süreçlerinin yeni nesil MEMS aygıtların geliştirilmesini hızlandırması ve ülkemizin bu teknolojiyle refaha çıkması amaçlanmaktadır.

Subject Keywords

Optik Özellikler, Spektroskopi, Maddenin Parçacıklarla Etkileşmesi, Akustik, Optik, Sonlu Elemanlar Yöntemi, Elektronik Cihazlar, Biyomedikal, Optik Malzeme ve Aygıtlar

URI

https://hdl.handle.net/11511/58984

Collections

Department of Electrical and Electronics Engineering, Project and Design