Boşluk üzerinde germanyum yapısının metal yardımlı aşındırma ve tavlama ile üretilmesi

2018-12-31
Önerilen disiplinler arası bilimsel araştırma projesinin amacı yeni bir ince-film germanyum üretim yöntemi vasıtasıyla farklı fotonik aygıtların iyileştirilmesini sağlamaktır. Proje çerçevesinde ODTÜ Güneş Enerjisi Araştırma ve Uygulama Merkezinde metal yardımlı kimyasal aşındırma ve termal buharlaştırma ile birlikte metal yardımlı aşındırma yöntemleri ile üretilen gözenekli germanyum ODTÜ Metalurji ve Malzame Mühendisliği’nde tavlanacak ve üst kısımda oluşan gözeneksiz germanyum alt kısımda oluşan geniş boşluktan bir alttaş kullanılarak mekanik gerilim ile kaldırılacaktır. Bu işlem sonucunda üstbirikim ve fotolitografi metodları kullanılmadan ince film germanyum üretilmiş olacaktır. İnce film germanyum üretimi özellikle fotonik aygıtların üretiminde maliyeti düşürmek adına çok önemli bir yere sahiptir. Germanyum fotonik aygıtlar, germanyum pulun kalığınlığından çok daha ince kalınlıklarda verimli bir şekilde çalışabilirler. Bu sebeple pul germanyum kullanımı maliyeti çok arttırmaktadır. Dahası ince film germanyum üzerinde gerinim çalışmaları yapılarak direkt band aralığına geçilmesi ve bu sayede daha verimli ışık şaçıcı aygıt üretilmesi mümkündür.
Citation Formats
S. Yerci, M. B. İmer, and A. Ayan, “Boşluk üzerinde germanyum yapısının metal yardımlı aşındırma ve tavlama ile üretilmesi,” 2018. Accessed: 00, 2020. [Online]. Available: https://hdl.handle.net/11511/61383.