Elmas Membranlı Tedavi Amaçlı Mikroüretilmiş Kapasitif Ultrason Çevirgeçler

Date

2010-12-31

Author

Bayram, Barış

Metadata

Show full item record

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.

Item Usage Stats

0
views

0
downloads

Önerilen projenin amacı, tıpta tedavide (therapeutic) kullanılmak üzere, yüksek performanslı ve özgün bir ultrason çevirgeç (ultrasound transducer) geliştirmektir. Bu projede bir çevirgeç dizisinin (CMUT array) elmas membran ile yapılabilmesi için, yeni bir üretim teknolojisi ilk kez geliştirilecektir. Bu yeni teknoloji sayesinde çevirgeç dizisi, sıkça kullanılan; ama sorunlu olan (unreliable) silisyum (Si) ve silisyum nitrat (Si3N4) membran maddeleri (membrane material) yerine, elmas (diamond) membran kullanılarak üretilecektir. Elmas membranlı ultrason çevirgeçlerin sonlu elemanlar yoluyla (finite element method (FEM)) yüksek hassasiyetle (high precision) tasarımı ve bu tasarımın üniversitemizdeki temiz odada (clean room) mikroüretim (microfabrication) yoluyla seri (batch) ve ekonomik olarak üretilerek istenilen özellikleri sağladığının ultrason test düzeneğinde doğrulanması planlanmaktadır. Özgün tasarımı ve yenilikçi üretimi ile oluşturulacak bu CMUT dizisi bilimsel anlamda Türk Üniversitelerinin mikroelektromekanik (MEMS) alanında gelişen potansiyelini sergileyecektir.

URI

https://hdl.handle.net/11511/61765

Collections

Department of Electrical and Electronics Engineering, Project and Design