MikroElektroMekanik Sistemler (MEMS) Genel bir Tanıtım

Download

MikroElektroMekanik Sistemler (MEMS) Genel bir Tanıtım.pdf

Date

2002-05-01

Author

Dölen, Melik

Metadata

Show full item record

Item Usage Stats

739
views

208
downloads

Bu makale yeni bir araştırma dalı olan mikro-elektro-mekanik sistem teknolojilerini tanıtmayı hedeflemektedir. Makalede, yüzey/gövde mikro-işleme, elektro-erozyon, lazerle işleme ve yüksek derinlik oranlarına sahip mikro yapıların üretiminde kullanılan LIGA teknikleri gibi başlıca mikro-üretim yöntemleri kısaca ele alınıp, karşılaştırmalı olarak tanıtılacaktır. Bu üretim teknikleriyle yapılmış silisyum tabanlı mikro-duyucu ("micro-sensors") ve mikro eyleyicilere ("micro-actuators") çeşitli örnekler verilecektir. Bu makalede ayrıca mikro-mekanik sistemlerin (dizgelerin) tasarlanmasında kullanılan ölçeklendirme kanunları ele alınacaktır.

Subject Keywords

Mikro-elektro-mekanik sistemler, Mikro-işleme, Elektro-erozyon

URI

https://hdl.handle.net/11511/79161
https://dergipark.org.tr/en/download/article-file/485909

Journal

Makina İmalat ve Tasarım Dergisi

Collections

Department of Mechanical Engineering, Article

Suggestions

OpenMETU
Core

Mikro Elektro Mekanik Sistemler Üretim Teknikleri I Kaplan, Halit; Dölen, Melik; Dur, Osman (2004-11-01) Bu makale yeni bir araştırma dalı olan mikro-elektro-mekanik sistem teknolojilerini tanıtmayı hedeflemektedir. Makalede, yüzey/gövde mikro-işleme, elektro-erozyon, lazerle işleme ve yüksek derinlik oranlarına sahip mikro yapıların üretiminde kullanılan LIGA teknikleri gibi başlıca mikro-üretim yöntemleri kısaca ele alınıp, karşılaştırmalı olarak tanıtılacaktır. Bu üretim teknikleriyle yapılmış silisyum tabanlı mikro-duyucu ("micro-sensors") ve mikro eyleyicilere ("micro-actuators") çeşitli örnekler verilece...
Mikro Elekro Mekanik Sistemlerin Tasarım ve Ölçeklendirme İlkeleri Dölen, Melik (2005-05-01) Bu makale, mikro-elektro-mekanik sistemlerin tasarımda (büyük ölçekli sistemlerden farklı olarak) öne çıkan önemli ilkeler üzerinde durulmaktadır. Buna göre, mikro sistemlerin makro sistemlere göre bazı avantajlarından kısaca bahsedilerek, mikro sistemlerin tasarını sırasında göz önünde bulundurulması gereken faktörlere değinilecektir. Ayrıca, mikro ve makro sistemlerde öne çıkan farklı fiziksel büyüklükler ve tasarımcının takip edeceği tasarım akış yolu ve tasarım için kullanılabilecek bazı sayısal araçlar...
Euler Bağıntısının Öğretiminde 5E Öğrenme Döngüsünün Kullanıldığı Ders İşlenişin Geliştirilmesi Eylem Araştırması Bulut, Safure (null; 2016-09-30) 2004/2009 yılı ilköğretim matematik dersi ve ortaöğretim geometri dersi öğretim programlarında origaminin derslerde kullanımına yönelik örnek işlenişlere ve origaminin kullanımının faydalarına yönelik açıklamalar bulunmaktadır. Ayrıca, 5E öğrenme döngüsü yaklaşımının ders işlenişlerinde kullanılması istenmiştir. Matematik konularının işlenişlerinde hem 5E öğrenme döngüsünün hem de origaminin kullanıldığı bilimsel çalışmalar incelenen çalışmalar her iki yaklaşımın öğrencilere ol...
Mikroyapıların Mekanik Davranışlarının Sonlu Elemanlar Analizi ile İncelenmesi Özerinç, Sezer; Pınar, Abdullah Çağlar; Nigar, Bariş; Turan, Ecem; Ergül, Kaan(2017-12-31) Mikroyapılı malzemeler, örneğin nanokristalli metaller, nanokatmanlı kompozitler ve ince filmler, yüksek akma dayanımları ve aşınmaya olan dirençleri nedeniyle mühendislik uygulamaları için büyük gelecek vaat etmektedirler. Ayrıca mikroyapılardan oluşan mikro elektro-mekanik sistemler de ivme sensörleri başta olmak üzere birçok uygulamada yaygın olarak kullanılmaktadırlar. Tek fazlı malzemeler de üretim tekniklerine bağlı olarak mikro-ölçekte bazı özellikler gösterebilirler, örneğin 3 boyutlu yazıcı ürünü p...
Mikro-Plakların Modelleme ve Analizi İçin Yeni Yöntemler Dağ, Serkan; Ciğeroğlu, Ender(2016) Bu araştırma projesinin temel amacı mekanik veya termal yükleme altındaki mikro-plaklarınanalizi için yeni yöntemler ortaya koymaktır. Malzemelerin makro-ölçekte mekanik analiziniyapmakta kullanılan teoriler mikro-ölçekte geçerli değildir. Bunun nedeni uzunluk ölçeğiküçüldükçe etkisi artış gösteren boyut etkisidir. Mikro-ölçekli yapıların analizi için gerinimgradayanı elastisite teorisi ve modifiye edilmiş kuvvet çifti gerilmesi teorisi gibi yüksekdereceden sürekli ortam teorileri geliştirilmiştir. Teknik l...

Citation Formats

M. Dölen, “MikroElektroMekanik Sistemler (MEMS) Genel bir Tanıtım,” Makina İmalat ve Tasarım Dergisi, pp. 173–185, 2002, Accessed: 00, 2021. [Online]. Available: https://hdl.handle.net/11511/79161.