Pulların Moleküler Bağ Metoduyla Birleştirilmesi Metodunun Elmas MEMS Uygulamalarına Yönelik Geliştirilmesi

2015-12-31
Mikroelektromekanik uygulamalar için pulların birleştirilmesi metodu yenilikçi ürünlerin geliştirilmesi ve elmasa dayalı ürünler açısından önemlidir. Bu metodun gerçekleştirilmesi için pahalı ekipmanlara ihtiyaç duyulmaktadır. Bu ihtiyaç bu metodun yeterince uygulanmasını engellemektedir. Önerilen proje kapsamında kendi imkanlarımızla geliştireceğimiz bir sistem ve metodla bu moleküler bağ metodunun geliştirilmesi ve uygulanması planlamaktadır. Literatürde mevcut uygulamalarda genellikle Silisyum-Silisyum Dioksit ve ince (<50 nm) Silisyum Dioksit-Silisyum Dioksit arasında oluşturulan bu bağların kalın (>1 μm) Silisyum Dioksit-Silisyum Dioksit arasında oluşturulmasına yönelik çalışmalar yapılacaktır. Moleküler bağ oluşturulmasına yönelik çalışmada reaktif iyon plazma (O2, Ar) ve ozone aktivasyon metodlarına dayalı özgün bir teknik geliştirilecektir. Bu teknik, işlenmemiş pulların birleştirilmesinde kullanıldıktan sonra, işlenmiş pulun işlenmemiş pul ile birleştirilmesine yönelik geliştirilecektir. İşlenmiş pullar çeşitli maskeler yoluyla şekillendirilen Silisyum Dioksit kaplı silisyum pullar ve SOI (yalıtkan-üstü-silisyum) pullar kullanılarak elde edilecektir. Şekillendirilmiş pullardaki en önemli zorluk, temizlik sonrası fotorezist kalıntılarının temizlenmesi ve bu işlemde yüzey pürüzünün moleküler bağ için gerekli sınır değeri (Ra<0.5 nm) aşmaması gereğidir. Özellikle Silisyum Dioksit yüzey için bu işlemin gerçekleştirilmesi ayrı bir zorluk içerir. Bunun sebebi, Silisyum dio

Suggestions

MEMS kapasitif ultrasonik çevirgeçlerin sonlu elemanlar yöntemi yardımıyla tasarımı ve simulasyonunun yapılması
Bayram, Barış(2016-12-31)
Genel olarak MEMS cihazlarının özel olarak ise kapasitif ultrasonik çevirgeçlerin tasarım ve üretim aşamaları arasında yer alan sonlu elemanlar yöntemiyle simulasyon işlemi, en verimli tasarıma en ekonomik yoldan ulaşmak açısından büyük önem teşkil etmektedir. Projede MEMS kapasitif ultrasonik çevirgeçlerin tasarımının ve simulasyonunun bilgisayar ortamında yapılıp, üretime ve deneme yanılma metoduna gerek kalmadan kullanılacağı alana göre optimum tasarımın oluşturulacağı bir metod önerilmektedir. Bu metodd...
Elmas Membranli Kapasitif Ultrason Çevirgeç Dizilerinin Mikroüretimi
Bayram, Barış(2014-12-31)
Elmas, rakipsiz sertligi ve dayanikliligi, sürtünmeyle ilgili mükemmel performansi, ayarlanabilen ve dengeli yüzey kimyasi, yüksek termal iletkenligi ve düsük termal genlesmesi, içinde yayilan akustik dalgalarin hizinin yüksekligi, ve biyouyumlulugu ile mikroelektromekanik ve nanoteknoloji alanlarinda çigir açabilecek potansiyele sahiptir. Bu potansiyel mikroelektromekanik sistemler (MEMS) alaninda mikroüretilmis kapasitif ultrason çevirgeçler (CMUT) üzerinde üniversitemizde yürüttügümüz arastirmalarla açig...
Bakır Nanotel Esaslı Şeffaf ve İletken Elektrotların Üretimi ve Karakterizasyonu
Ünalan, Hüsnü Emrah; Çırpan, Ali(2016-12-31)
Bu projenin amacı bakır nanotel elektrot esaslı organik ışık yayan diyotların üretimi gerçekleştirmek ve özelliklerini incelemektir. Projede öncelikle bakır nanoteller çözelti esaslı yöntemle üretilecek, ince film şeklinde çeşitli altlıkların üzerine yoğunluğu kontrol ve tekrar edilebilir şekilde kaplanacak ve filmlerin optoelektronik özellikleri sistematik olarak incelenecektir. Daha sonra sözkonusu ince film elektrotları anot olarak kullanan organik ışık yayan diyotlar (OLEDler) üretilecektir. Projenin s...
Merkezleme Özelliği Olan Yenilikçi Bir Sönüm Cihazının Deneysel İncelenmesi
Caner, Alp(2016-12-31)
Patent başvurusu yapılmış olan merkezleme özelliğine sahip yenilikçi bir sönüm cihazı deneysel olarak incelenecektir. Geliştirilen sönümleyici cihaz birden fazla yararlı ve yenilikçi özelliğe sahiptir: içerdiği büyütücü mekanizma ile artan verim, merkezleme özelliği, sönüm ve rijitlik arasındaki hassas dengenin pratik bir yöntemle ayarlanabilmesi (dolayısıyla artan verimlilik), maliyet verimliliği, uygulama kolaylığı. Bu özellikleriyle, geliştirilen cihaz mevcut sönümleyici teknolojilerinin bir adım önüne g...
Nano-akışkan ısıl iletkenlik ölçümleri için bir deney düzeneğinin geliştirilmesi
Okutucu Özyurt, Hanife Tuba; Jafari Khousheh Mehr, Rahim(2014-12-31)
Nanoakışkan, nanometre boyutundaki parçacıkların, su, etilen glikol ve benzeri bir baz akışkan içindeki süspansiyonu olarak tanımlanabilir. Nanoakışkanlar günümüzde ticari veya araştırma amaçlı olarak üretilmekte, elektronik soğutma, hızlı soğutma ısıl işlemi, mikro-biyo-sistemlerde akış, triboloji ve yağlama mühendisliği gibi çeşitli alanlarda kullanılmaktadır. Metal nanoparçacıklar içeren nanoakışkanlar, bir ısı değiştiricide kullanıldıklarında, baz akışkanlara göre daha iyi ısı transfer performansı göste...
Citation Formats
B. Bayram, “Pulların Moleküler Bağ Metoduyla Birleştirilmesi Metodunun Elmas MEMS Uygulamalarına Yönelik Geliştirilmesi,” 2015. Accessed: 00, 2020. [Online]. Available: https://hdl.handle.net/11511/58970.