Pulların Moleküler Bağ Metoduyla Birleştirilmesi Metodunun Elmas MEMS Uygulamalarına Yönelik Geliştirilmesi

Date

2015-12-31

Author

Bayram, Barış

Metadata

Show full item record

This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.

Item Usage Stats

209
views

0
downloads

Mikroelektromekanik uygulamalar için pulların birleştirilmesi metodu yenilikçi ürünlerin geliştirilmesi ve elmasa dayalı ürünler açısından önemlidir. Bu metodun gerçekleştirilmesi için pahalı ekipmanlara ihtiyaç duyulmaktadır. Bu ihtiyaç bu metodun yeterince uygulanmasını engellemektedir. Önerilen proje kapsamında kendi imkanlarımızla geliştireceğimiz bir sistem ve metodla bu moleküler bağ metodunun geliştirilmesi ve uygulanması planlamaktadır. Literatürde mevcut uygulamalarda genellikle Silisyum-Silisyum Dioksit ve ince (<50 nm) Silisyum Dioksit-Silisyum Dioksit arasında oluşturulan bu bağların kalın (>1 μm) Silisyum Dioksit-Silisyum Dioksit arasında oluşturulmasına yönelik çalışmalar yapılacaktır. Moleküler bağ oluşturulmasına yönelik çalışmada reaktif iyon plazma (O2, Ar) ve ozone aktivasyon metodlarına dayalı özgün bir teknik geliştirilecektir. Bu teknik, işlenmemiş pulların birleştirilmesinde kullanıldıktan sonra, işlenmiş pulun işlenmemiş pul ile birleştirilmesine yönelik geliştirilecektir. İşlenmiş pullar çeşitli maskeler yoluyla şekillendirilen Silisyum Dioksit kaplı silisyum pullar ve SOI (yalıtkan-üstü-silisyum) pullar kullanılarak elde edilecektir. Şekillendirilmiş pullardaki en önemli zorluk, temizlik sonrası fotorezist kalıntılarının temizlenmesi ve bu işlemde yüzey pürüzünün moleküler bağ için gerekli sınır değeri (Ra<0.5 nm) aşmaması gereğidir. Özellikle Silisyum Dioksit yüzey için bu işlemin gerçekleştirilmesi ayrı bir zorluk içerir. Bunun sebebi, Silisyum dio

Subject Keywords

Elektrik-Elektronik Mühendisliği ve Teknolojisi, Yarı İletken Malzeme ve Aygıtlar, CAD/CAM, Makina Mühendisliği ve Teknolojisi, Malzemeler ve Metalurjik Teknoloji, Malzeme Analizi

URI

https://hdl.handle.net/11511/58970

Collections

Department of Electrical and Electronics Engineering, Project and Design

Suggestions

OpenMETU
Core

MEMS kapasitif ultrasonik çevirgeçlerin sonlu elemanlar yöntemi yardımıyla tasarımı ve simulasyonunun yapılması Bayram, Barış(2016-12-31) Genel olarak MEMS cihazlarının özel olarak ise kapasitif ultrasonik çevirgeçlerin tasarım ve üretim aşamaları arasında yer alan sonlu elemanlar yöntemiyle simulasyon işlemi, en verimli tasarıma en ekonomik yoldan ulaşmak açısından büyük önem teşkil etmektedir. Projede MEMS kapasitif ultrasonik çevirgeçlerin tasarımının ve simulasyonunun bilgisayar ortamında yapılıp, üretime ve deneme yanılma metoduna gerek kalmadan kullanılacağı alana göre optimum tasarımın oluşturulacağı bir metod önerilmektedir. Bu metodd...
Nano-akışkan ısıl iletkenlik ölçümleri için bir deney düzeneğinin geliştirilmesi Okutucu Özyurt, Hanife Tuba; Jafari Khousheh Mehr, Rahim(2014-12-31) Nanoakışkan, nanometre boyutundaki parçacıkların, su, etilen glikol ve benzeri bir baz akışkan içindeki süspansiyonu olarak tanımlanabilir. Nanoakışkanlar günümüzde ticari veya araştırma amaçlı olarak üretilmekte, elektronik soğutma, hızlı soğutma ısıl işlemi, mikro-biyo-sistemlerde akış, triboloji ve yağlama mühendisliği gibi çeşitli alanlarda kullanılmaktadır. Metal nanoparçacıklar içeren nanoakışkanlar, bir ısı değiştiricide kullanıldıklarında, baz akışkanlara göre daha iyi ısı transfer performansı göste...
Merkezleme Özelliği Olan Yenilikçi Bir Sönüm Cihazının Deneysel İncelenmesi Caner, Alp(2016-12-31) Patent başvurusu yapılmış olan merkezleme özelliğine sahip yenilikçi bir sönüm cihazı deneysel olarak incelenecektir. Geliştirilen sönümleyici cihaz birden fazla yararlı ve yenilikçi özelliğe sahiptir: içerdiği büyütücü mekanizma ile artan verim, merkezleme özelliği, sönüm ve rijitlik arasındaki hassas dengenin pratik bir yöntemle ayarlanabilmesi (dolayısıyla artan verimlilik), maliyet verimliliği, uygulama kolaylığı. Bu özellikleriyle, geliştirilen cihaz mevcut sönümleyici teknolojilerinin bir adım önüne g...
Kargo Taşıma Ve Yangın Söndürme Amaçlı Kullanılabilecek İnsansız Hava Aracı Tasarımı,üretimi Ve Uçuş Testlerinin Gerçekleştirilmesi. Kurtuluş, Dilek Funda(2014-12-31) Bu projenin amacı görev tanımlı bir insansız hava aracının üstlendiği görevi en iyi gerçekleştirecek şekilde tasarlanması ve eniyilemesi yeteneğini öğrencilerimize kazandırmak ve tasarladıkları uçağı üretme ve uçuş testlerini yapma deneyimini sağlamaktır. Proje kapsamında tasarlanan özgün hava aracı ile her sene Amerika’da düzenlenen “Design/Build and Fly” (kısa adı DBF) adlı yarışmaya katılmak ve okulumuzu başarılı bir şekilde temsil etmektir. Proje ekibi en son 2011 yılı içerisinde Almanya’da düzenlenen “...
Teknoloji, tasarım ve inovasyon merkezi destek hizmetleri projesi Sorguç, Arzu; Alkan, Serkan; Ülgen, Serkan(2017-12-31) Bu proje kapsamında yapılacak olan etkinlikler, üniversitemizin disiplinlerarası yetkinliğini artırmak ve sanayi ile etkileşimi güçlendirerek, öğrencilerin ve öğretim üyelerinin tasarım ve inovasyon faaliyetlerine katılımı özendirecektir.

Citation Formats

B. Bayram, “Pulların Moleküler Bağ Metoduyla Birleştirilmesi Metodunun Elmas MEMS Uygulamalarına Yönelik Geliştirilmesi,” 2015. Accessed: 00, 2020. [Online]. Available: https://hdl.handle.net/11511/58970.